利用光热方测量材料热物理性质的研究.pdfVIP

济南人学帧I。学位论史 摘 要 光热偏转检测技术(PDT)是近几年发展起束的热波探测技术，它是～种非接触 式的灵敏检测技术，可以在恶劣的环境F进行在线检测，能达到l∥-一压 (表删撕砑i甭琵)的位移检测灵敏度，具有较高的分辨率。由于其独特的优势，光 热偏转检测方法被广泛地应用于生产和工程中的各个领域。当前，随着材料技术的深 入研究和大规模集成电路的广泛应用，材料的热学性质直接关系到材料在半导体器 件、航空航天等高科技领域的应用，而材料的热物理性质与其制各过程等各种因素密 切联系，因此，材料热物理性质及其测量方法的研究倍受关注。 本文首先介绍了光热偏转方法的基本原理和特点，说明了光热偏转方法在无损检 测领域有着许多突出的优点和重要作用。然后描述了光热偏转方法的理论模型——三 层一维介质模型，着重描述了光热偏转信号的物理意义。根据光热偏转检测理论，设 计了热扩散率光热偏转自动化检测系统，实现了数据采集和数据处理的自动化；设计 了光热偏转成像系统，实现了样品表面热波成像的自动测量。 论文研究发现，适量镧系镧、铈、钕三种稀t元素的掺杂，有助于抑制SrBi4Ti40is 材料中的氧空位，提高材料的a向择优取向度，有助于改善材料的热扩散率，提高材 料的性能等。SrBT掺杂的最佳配方分射为SrBi3 率，其最佳配方分别为Srl．95SmoosFeM006、SrlsTSmo13FeM006。 光热偏转成像系统能够快速绘制样品表面的热波图像，为材料热学性能的研究提 供了一个重要手段。本文通过实验绘制了直线划痕SrBT样品和三角划痕硅片样品的 表面光热偏转图，成像结果清晰直观。 关键词：光热偏转技术；热扩散率；热波成像；自动测量 济南人学坝卜，≠位论文 Abstract beam Photothermaldeflection inrecent is technique(PDT)developingyears，which andsensitive．isabndofthermalwave has non-contact higher detectingtechnique．It line ratethanothertestmethods．Withthis wecanmeasureon and distinguish technique obminabout is on lff”卅、／压(Ⅻ触噼bⅫ眦／厄磊忑面而面)displacement．Itapplied far ofits and andwidebecause productionengineering uniqueadvantage．Atpresent．with the onmaterialsandwide of Scale circuitthe deep applicationLarge Integrated study ofthe the in thermalcharactermaterialaffects the immediately