大面积全息子晶体模板的制作技术及其在led中的应用.pdf

中文摘要 摘要 目前被人们称为可控制光子流动的半导体一光子晶体，由于其潜在的科学价 (Sciene．e}两刊物上发表的相关论文达2l篇。国内外大学的一些研究小组相继采用 不同的方法对光子晶体的结构、理论、制备技术及其崭新的物理性质等进行了研究 并取得了重大进展． 子晶体受到了广泛得重视．该方法制作光子晶体直接、成本低、速度快、有实用意 义。但全息术实现光子晶体需要三束光(--维)或四束光(三维)干涉，目前国内 外普遍采用的制作系统存在着光路复杂、系统稳定性差、所制得的光子晶体面积小 等缺点，使其应用仍然局限于实验室中。因此如何实现大面积、廉价、大批量地制 备光子晶体，是使其得到真正意义上的应用的唯一途径。本研究针对这个课题从理 论到实验方案，对制备方法进行了深入研究，并取得了以下成果： 1．计算模拟分析全息术实现光子晶体过程中，利用光刻胶作为记录介质，将三维结 构记录下来的曝光、显影过程；模拟分折光强比、偏振态、对比度等对制作全息 光子晶体模板的影响；给出实现fee结构光子晶体的优化制作参数。 2．提出用双光束干涉多次曝光的方法实现三维结构光子晶体。理论分析证明该方法 可实现与四束光同时曝光法