硅纳米线纳米器件的研究进展.pdfVIP

SEMICoNDUCTORoPToELECTRoNICSV01．28No．2 Apr．2007 动态综述 硅纳米线纳米器件的研究进展 裴立宅 (安徽工业大学材料科学与工程学院。安徽省金属材料与加工重点实验室，安徽马鞍山243002) 摘要： 硅纳米线作为一类重要的一维半导体纳米材料，在纳米器件方面具有很好的应用前 景，可以用于高性能场效应晶体管、单电子探测器和场发射显示器件等纳米器件的制备。介绍了近 两年来硅纳米线作为检测细胞、葡萄糖、过氧化氢、牛类血清蛋白和DNA杂交方面的纳米传感器、 纳米晶体管、光电探测器等纳米器件的最新进展，并对其研究前景做了展望。 关键词：硅纳米线；纳米器件；传感器；晶体管 Research ofSiliconNanowireNanoscaleDevices Development PEILi—zhai (SchooIofMaterialsScienceand Lab．ofMateriaIsScienceand of Engineering，Key Processing Anhui of 243002，CHN) Pmvince，Anhui Technology，Ma’anshan University semiconductdrnanoscale Abstract：Siliconnanowireis animportantone—dimensional materialis in ofnanoscale asfieldeffecttransistors andverypromisingapplication devices，such with electrondetectorandfieldemission devices．I之ecent goodproperties，sin91e display ofsiliconnanowirenanoscale asnanoscalesensorsfor cell， developments devices，such detecting DNA transistors serumalbuminand peroxide，bovine hybridization，nanoscale 91ucose，hydrogen are ofnanoscaledeviceswithsiliconnanowires and introduced．The phototransistor development isalsodiscussed． silicon nanoscale transistors words： nanowires； devices；sensors； Key 1 引言 和存储元件、双方向电子泵和场发射显示器件等各