基片退火对a0.5ba0.5coo3薄膜生长的影响.pdfVIP

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2015-10-26 发布于贵州
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基片退火对a0.5ba0.5coo3薄膜生长的影响.pdf

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基片退火对a0.5ba0.5coo3薄膜生长的影响

LaoLao5Bao widewellwerewerewerewaswithwidthwaswithAFMAbstractAFMmaterial．ItmeasurementmaximumunusualbeForunannealedbecamearehasGiantThermalhashavehalfhasXRDaaasareasareaareareaLaoLao．5Bao．5C003kindnewnovelreactiveLBCOresultsLBCOLBCOroomnmLAOLBCOonononononvariousatatatoncurveandasannealedairandatomicafteratas-receivedandannealedareandannealedareafterareandofofofoxideofofoforientedofofof68ofofoforientedofofasas—received2．1222．3nm．The2700．66nm．Alltotototototofunctionalforfuelfilmsfilmsforcefollow．foundfilmsfilmsfeatures．Thefilmsfullfromfromfoundfoundfoundfilmsfilmfoundfilmandandandandsensor5Bao5C003cubicduedevices5C003differentcharacterizationdiffractionconfirmsdecreasescorrelationduecorrelationdecreased．decreasedcorrelationofofetc．Itelectrodesthethinthethethethatthethethethatthethethethatt11e70tothethethethethethattherethethethethethatthethatthethethethatthere5Ba0structurestructurefilmselectdcalthethe7nm．Aftertherethetheshowssomesuchsensitivesolidsubstrates．Thesubstratessubstratesstructuralsurfacesubstratesshowssubstratesubstratesself-affmesubstratesurfacesurfacesubstratesubstratesself-affinesizesurfaceshowedsubstratesurfacesshowedsurfacesummarizedllesslotisinterestitsitinininiSincreaseinfluenceisisisisislandiSislandissubstrateself-affine114000C1．It14000C．12000C．13500C111．29nm111．11increasedInfluence Words-Lao．5Bao5C003substrate．．III．． LaoLao．5Bao44．14．2．122．12．22．333．33．453．4．15IV— 66．16．2．155．15．2．15．2．3 of5Ba0structure1．11 Ferroelectric oxidefuel Tab．1．1filmsstructure 基片退火对Lao．5Bao．5C003薄膜生长的影响相对于体材料的钙钛矿结构的氧化物，薄膜材料口9。301具有明显的优势，如：(1) 体积小，能够很好的满足小型化的要求(2)具备一些体材料没有的性能，可以用于新器件的研发。随着半导体和薄膜制备工艺的发展，两者实现了融合。钙钛矿型薄膜的应用【15】见表1．1所示。 ZLBCO2．12．22 Schematicoflaser MOCvD．Reactionof solutionlaser 2．3 基片退火对Lao 5Bao．5C003薄膜生长的影响 3 Lao．5Bao．5C003薄膜制备和表征方法 3．1靶材的制备磁控溅射中是使用的LBCO靶材。这种靶材是利用固相反应的方法制备而成。首先要将所需的三种化学试齐IJ(99．99％W-J：)按照一定的比例进行称量、球磨均匀，然后煅烧、研磨再煅烧最后成型。具体流程：根据所需制备