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复旦大学新微探针的建立和离子束分析的应用

摘要 /随着70年代核微探针技术在国际上的蓬勃发展,80年代初复旦大学就开展了用针孔 准宜的微探针研究,随后在美国SUNY/A/bany大学的协助下,建成了用双元磁四极透镜聚 焦的质子微探针,并对材料、生物、地质样品作了大量的研究。但由于系统的老化,已经 不能满足日益发展的研究需要。1999年,复旦大学现代物理研究所利用国家“211工程”, / 的资助,从英国OxfordMicrobeams公司引进了微探针关键部件,建立了新的微探针系统。7 本文第一章介绍了新核微探针硬件系统各部分组成—微束束线、靶室系统、以及系统控制 和数据采集分析系统。为了获得尽可能小的柬径,在本文第二章,我们根据复旦新核微探 针的具体几何条件,进行了束流光学的模拟计算,找到了对不同能量、不同离子进行聚焦 的合适的四极透镜参数,其结果直接指导新核微探针系统的调试工作。STIM作为一种极 为有效的核分析手段,本文第三章着重分析STIM方法学的研究:建立了STIM的桌面模 拟系统,只要对此系统稍作改动就可以放入真空靶室中,进行STIM测量;对测量得到的 数据,编写了基于剩余能量作为图像对比度因子的数据处理程序。本文第四章讨论了离子 束分析的应用:Sputtering/RBS方法结合对样品深埋层进行分析,提高样品分析的深度分 辨率;PIXE对用于净化水处理的无机膜样品的分析结果,表明此膜可以去除Pb等对人体 有害的元素,达到水净化的目的。由于新微探针系统刚刚建成,本文最后一章讨论了将来 微探针的发展前景。 关键字:质子微探针;束流光学;核分析技术;RBS;PINE;STIM Abstract in1 b“。don 970’s,research ofNuclear technique WiththeraDid Microprobe development inFudan inthe 1980’s university. carriedout aDerture-co[1imated was early Nucle“Microprobe Proton applied of Microprobe(SPM)which thecooDerationSUNY/Albany,aScanning With wer。 alotofworks and asits wasthenestablished double lens focusingcomponents quadrupole was and science.However,it materials scienc

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