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复旦大学新微探针的建立和离子束分析的应用
摘要
/随着70年代核微探针技术在国际上的蓬勃发展,80年代初复旦大学就开展了用针孔
准宜的微探针研究,随后在美国SUNY/A/bany大学的协助下,建成了用双元磁四极透镜聚
焦的质子微探针,并对材料、生物、地质样品作了大量的研究。但由于系统的老化,已经
不能满足日益发展的研究需要。1999年,复旦大学现代物理研究所利用国家“211工程”,
/
的资助,从英国OxfordMicrobeams公司引进了微探针关键部件,建立了新的微探针系统。7
本文第一章介绍了新核微探针硬件系统各部分组成—微束束线、靶室系统、以及系统控制
和数据采集分析系统。为了获得尽可能小的柬径,在本文第二章,我们根据复旦新核微探
针的具体几何条件,进行了束流光学的模拟计算,找到了对不同能量、不同离子进行聚焦
的合适的四极透镜参数,其结果直接指导新核微探针系统的调试工作。STIM作为一种极
为有效的核分析手段,本文第三章着重分析STIM方法学的研究:建立了STIM的桌面模
拟系统,只要对此系统稍作改动就可以放入真空靶室中,进行STIM测量;对测量得到的
数据,编写了基于剩余能量作为图像对比度因子的数据处理程序。本文第四章讨论了离子
束分析的应用:Sputtering/RBS方法结合对样品深埋层进行分析,提高样品分析的深度分
辨率;PIXE对用于净化水处理的无机膜样品的分析结果,表明此膜可以去除Pb等对人体
有害的元素,达到水净化的目的。由于新微探针系统刚刚建成,本文最后一章讨论了将来
微探针的发展前景。
关键字:质子微探针;束流光学;核分析技术;RBS;PINE;STIM
Abstract
in1 b“。don
970’s,research
ofNuclear technique
WiththeraDid Microprobe
development
inFudan
inthe 1980’s university.
carriedout
aDerture-co[1imated was early
Nucle“Microprobe
Proton applied
of Microprobe(SPM)which
thecooDerationSUNY/Albany,aScanning
With
wer。
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and
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double lens focusingcomponents
quadrupole
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