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掺杂zno膜的生长及其储锂性能研究
日录
目 录
摘 要 … … 1
A b str a ct … … 2
第 一 章 绪 论 …，… …4
1.1 zn o 晶体概括 ·················… …
1.1.IAI 掺 杂 zno … … ，.… ，.， ·.. ···············……
1.1.2 VI族 元 素掺 杂 的 Z n0 ……5
1.2 铿 离子 电池 概述 ……，… …5
1.2.1 铿离子 电池 的发展历史……，……5
1.2 .2 铿 离 子 电池 的工 作 原理 ……7
1.2.3 铿离子 电池 的 电极材料 ……8
1.2.3.1 负极材料 ·····························… …8
1.2.3.2 正极材 料 .… ，...…… ， ·················… …10
1.3 本 论 文 的研 究 内容和 意义 .，… …n
参考 文 献 … …，… …11
第 二 章 样 品制备 及 测试手 段 …… ，… …17
2.1脉冲 激 光沉 积 (Pulsed L aser D ePosition)技 术 ……17
2.1.1 脉冲 激 光沉积 制备薄膜 的基 本 原理 ……17
2.1.2 实验 装 置 示 意 图……18
2.1.3 脉冲 激 光沉 积 技 术 的特 点 … … ，… …19
2.2 磁控溅 射 (M ang etron SP utt ering)镀 膜技 术 ……20
2.2.1 溅射 理 论 、、 ·····. ········…… 0
2.2.2 辉 光 放 电 ················… …21
2.2 .3 磁控 溅 射镀 膜 … …23
2.3 薄 膜 的物 性 表 征及 测 试 … … ，… …24
2 .3.1 质 量 测 定— 数 字 式微 量 天平 ……24
2.3.2 薄膜 的厚度 测 定— 探 针 式表 面轮 廓 仪 … …24
2.3.3 电学 性 能 的测 试— 霍 尔 仪 … …25
2.3.4 X 射 线 衍 射 (X R D ) ……26
2.3.5 透射 电子显微镜 (肠an sm ission E leetron M icroscope) ···········… …27
2.3.6 X 射 线光 电子 能谱详 一ray Photoelectron Sp eetroscopy) ……29
曰 二式
2.4 铿 电池 的组装 及 电化 学 性 能测 试 方法 … …31
2.4 .1 电池 的组 装 ··.. ·… …31
2 .4.2 恒 电流 充放 电测 试 (G alvanostatie D isehange/C hange C }/cling) ……3 1
2.4.3 循环伏 安法 (Cyc lci Vo h~ ogranl s) ·. · ····……32
参 考 文 献 … …3 2
第三 章 脉冲激光沉积伊L D) 制 备 z n0 1一xS :薄膜及其性质 的研究 ……35
3.1 引言……，…… ，……35
3.2 脉 冲激光沉积技 术制备 Zn 0 1一xs、薄膜 的实验 参数 ……36
3.2.1 样 品靶 的制 备 二，.，… …36
3.2.2 薄膜沉 积 条件 …… ，…36
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