钛酸铋基赝钛矿结构薄膜的制备和性能研究.pdfVIP

弼南大学凝聚态物理专业2002锻硕七论文 摘要 钙钛矿氧化物薄膜是当今国际卜备受关注的功能材料，在微电子学、光电子 学、以及光电集成器件等方面具有广‘阔的应用前景，本论文选取纯的BhTi3012和 掺杂Bi4Ti3012材料，围绕薄膜的制备、过渡金属掺杂以及薄膜结构、表面形貌和 光学性质表征等进行了研究，取得了一些结果。主要内容如下： 温度、不同薄膜厚度对薄膜性质的影响。发现各种条件下制备的薄膜均沿(110) 取向，尤其以650。C、6次退火得到的薄膜(110)择优取向度最大，最大值为 2．05。 2．采用溶胶一凝胶法制备Bi4Ti3012前驱体溶液，研究不同制备条件对薄膜前驱 体溶液性质的影响，完善了铁电薄膜的溶胶一凝胶法制备工艺。 3，采用溶胶一凝胶法制备Bi4Ti3012薄膜，研究不同退火温度对薄膜结构的影响， 迅速增长，因此理论上存在控制薄膜退火过程，可以分别得到(100)、(117)、 (001)取向薄膜的可能性。 4．利用光学透射法分析Bi4Ti3012薄膜的光学性质，发现薄膜的折射率n消光系