铌酸锂退火子交换波导的制作和研究.pdfVIP

铌酸锂退火质子交换波导的制作和研究 摘要 集成光学型光纤陀螺是研制中、高精度光纤陀螺发展的基本方向，铌 酸锂退火质子交换波导是构造集成光学芯片的关键技术。本文首先解释了 光纤陀螺的基本原理，然后讨论了衬底材料铌酸锂的物理特性。接着从质 子交换平面波导入手，由棱镜耦合法测得波导的模式有效折射率，并用 IWKB法拟合了折射率的分布，对质子交换和退火的特性进行了分析。进一 步采用X．射线衍射法对质子交换波导的晶格结构进行了分析，指出晶格的 畸变与折射率的改变密切相关。文中还从物理机制上探讨了折射率改变的 机理。最后，在实验上摸索出了单模条波导的制作工艺，并对单模波导进 行了通光测试。 关键词：光纤陀螺，铌酸锂，退火质子交换波导，IWKB法，x一射线衍射 of Annealed andFabrication Research LiNb03 Proton—ExchangedWaveguide