《数控机床定位精度与激光干涉仪测试曲线》.docVIP

数控机床定位精度与激光干涉仪测试曲线 摘要 用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测时，不同的机床，检测的精度曲线各不相同，想要提高数控机床定位精度，就需要对不同的测试结果给予全面而科学的分析。分析雷尼绍产品在使用过程中遇到的几种机床误差曲线的误差源及解决方案。 关键词 激光干涉仪 数控机床 定位精度 误差分析一、前言 用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测，不同的机床检测的精度曲线各不相同，想要提高数控机床定位精度，就需要对不同的测试结果给予全面而科学的分析。就雷尼绍产品在使用过程中遇到的几种机床误差曲线的误差源及解决方案提出分析。二、数控机床定位精度常见误差曲线及分析 ??? 1．负坡度 ??? 图1中曲线向外运行和向内运行，两个测试均出现向下的坡度。图1显示在整个轴线长度上，误差呈线性负增加。这表示激光系统测量的距离短于机床位置反馈系统指示的距离。此处注意，分析以上数据时使用雷尼绍公司“所有数据图”图形类型的符号约定。一些三坐标测量机（例如VDI2617 )使用相反的符号约定，因此图形坡度与之相反。 ? 图1 ? ??? (1)负坡度可能原因。在激光干涉仪设置上，可能光束准直调整不正确，如果轴线短于lm，则可能是材料热膨胀补偿系数不正确，材料温度测量不正确或波长补偿不正确。 ??? (2)机床可能的误差源。俯仰和扭摆造成阿贝（Abbé）偏置误差、机床的线性误差。 ??? (3)