半导体制造中具有重入的双臂组合设备的调度和仿真.pdfVIP

of Submittedto Technology ADissertation University Guangdong forthe ofMaster Degree of Science Master Engineering ClusterTools ofDual—Arm andSimulation Scheduling withWafer Processes Revisiting FuHu By Prof．Wu Supervisedby Naiqi May2013 SchoolofElectromechanical Engineering of UniversityTechnology Guangdong 0006 Guangzhou。Guangdong，P．R．China，51 摘要 摘要 半导体制造作为互联网和信息化的基础，它发展水平成为是一个国家现代经济和 来越多的晶圆制造厂青睐。组合设备由多个加工模块和一个传输模块组成，它把多组 晶圆的加工和搬运有效的整合为一体，不仅充分利用了作业空间，提高了设备的生产 率，而且同时也减少了污染等问题。组合设备是处于真空密闭的环境中，加工模块之 间只有机械手可成为缓冲区，这使得组合设备的调度变得异常的复杂。再加上晶圆制 造工艺存在加工步骤多、加工逗留时间约束、重入加工等因素，使得组合设备的调度 更加困难。本文研究的是具