EBSD和EDS使用技巧.pdf

Oxford Instruments EBSD及EDS使用技巧 焦汇胜 牛津仪器 · 纳米分析部 Oxford Instruments 2005 Oxford Instruments EBSD使用中注意的问题 Oxford Instruments 2005 Oxford Instruments 背散射电子衍射应注意的问题  工作电压  束流  工作距离  探测距离  样品表面质量  原子序数  步长  放大倍数  倾斜校正 Oxford Instruments 2005 Oxford Instruments 5kV 10kV 20kV 30kV 40kV 70º 60º 50º John Sutliff, 2001, private communication Oxford Instruments 2005 Oxford Instruments 菊池花样质量和角度范围与探头距离的关系 More than 100  DD = 40 mm DD = 30 mm DD = 20 mm DD = 10 mm DD = 40 mm DD = 10 mm Oxford Instruments 2005 Oxford Instruments EBSD 花样与加速电压的关系 5KV 10KV 15KV 20KV 25KV 35KV 2dsin = n Oxford Instruments 2005 Oxford Instruments 束流的影响不如加速电压显著，以5nA为最佳值。 最佳分辨率时并不对应最小的束流。电子束越细，电子束作用区越小，分辨 率越高，但衍射花样的清晰度降低，标定困难。一般采用一个折衷值。 束流/A Oxford Instruments 2005 Oxford Instruments EBSD 花样与工作距离的关系 WD = 28mm