文献综述 单晶片.docVIP

宁波大学科技学院本科毕业设计(论文) 文 献 综 述 题 目 单晶片式压电微夹钳的设计 指导教师 崔玉国 学院 科技学院 专业 机械设计制造及其自动化 班级 07机械（2） 学生姓名 叶明波 学号 074173849 开题日期 2010.11.21 微夹钳( microg ripper ) 是微机械技术的重要研究内容之一 是一种典型的微执行机构， 它在微机械零件的加工、装配、生物工程和光学等领域均有广泛的应用前景, 近年来发展迅速. 日本和德国在这方面的研究起步较早[1]。它是20 世纪90 年代以来随着微机电系统( MEMS) 技术的发展而备受重视的微操作器之一 真空吸附是最早使用的微操作方式之一它采用直径很细的玻璃管来吸附微小物体, 达到摄取微小物体的目的, 该方式简单易行 但是还不能实现对微小物体的自如操作. 继而, Kohl 等 研制了形状记忆合金微夹钳, 其外形尺寸为2 mm×3.9 mm×0.1 mm最大位移180 μmKim 等设计了静电型微镊子, 采用半导体加工工艺制作而成, 最大张开距离为10 μm, 驱动电压50 VSuzuki设计了热伸缩型悬臂梁结构的微型镊子; Haddab 等设计制作了压电悬臂梁式的微型镊子. 国内对微小夹钳的研究起步较晚, 主要是研究了形状记忆合金和压电型微夹钳综观各国在微操作器方面的报道可以看出国际上研制成功的微操作手主要还是以两爪的微夹钳为主, 外形尺寸从几mm 到几cm 不等 所用的加工工艺主要有3 种精密机械加工技术、半导体加工工艺和最近几年兴起的LIGA 加工工艺[2]。 [3]。 微夹钳在微机械零件加工、微装配和生物工程等领域都有较为广泛的应用。由于其在各领域中的重要作用，近年来，国内外学者对微夹持器进行了深入的研究，研制了压电驱动微夹持器、静电力微夹持器、电磁驱动微夹持器、电致伸缩微夹持器、电热式微夹持器和形状记忆合金微夹持器等 [4]。 静电驱动微夹钳的主要优点是可与IC工艺兼容，体积可以做得很小，但夹持力很有限。 热驱动微夹钳可以得到较大的夹持力，但这类夹钳响应时间较长，不利于快速操作与装配。SM微夹钳响应速度也较慢，且形变呈阶跃性变化。电磁驱动微夹钳的夹持力与体积始终是一对不可调和的矛盾。压电驱动微夹钳具有响应速度快、分辨率高、控制精度高、驱动力大等优点，因此成为微夹钳最常见的驱动方式之一[5]。压电陶瓷具有敏感的特性，可以将极其微弱的机械振动转换成电信号，可用于声纳系统、气象探测、遥测环境保护、家用电器等。压电陶瓷在电场作用下产生的形变量很小，最多不超过本身尺寸的千万分之一，别小看这微小的变化，基于这个原理制做的精确控制机构－压电驱动器，对于精密仪器和机械的控制、微电子技术、生物工程等领压电陶瓷存在着迟滞、蠕变和位移非线性等不足, 使得位移系统的建模和控制困难[6]。减小迟滞的方法主要有采用电流源代替电压源, 实现电荷控制 压电陶瓷元件采用位移闭环控制 采用基于前馈非线性迟滞模型的开环控制。方法 从数学角度逼近压电陶瓷的迟滞特性曲线, 通过建立压电陶瓷的电压位移数学模型实现高精度的开环控制。通常采用的模型有Preisach模型、通用化的Maxw ell 模型和多项式近似模型等[7]。 由于压电陶瓷具有快速响应特性和亚微米级的位移精度(取决于电源的噪声水平)，根据被操作器件的尺寸和夹持臂刚度，通过调节驱动电压可以控制夹持力到合适的水平，从而提高操作的可控性和可靠性，以利于快速准确地完成对微器件的拾取与释放操作[8]。 微夹钳所实现的通常是微米甚至纳米级的位移 压电式微夹钳可应用于微机械零件的装配及生物工程领域的细胞操作 因此 它的设计应该满足结构紧凑、机构简单、传动准确、动作灵敏度高、控制方便等要求微夹钳的工作原理是基于压电体的逆压电效应考虑到压电效应所产生的变形量很小 因此,要实现大速比的运动还需要采用杠杆机构作为机械增幅机构, 构成如图1所示的夹钳结构它既是传动系, 又是夹持机构采用柔性铰链作为连接机构 可以实现绕轴作复杂运动的有限角位移 特点是无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高在转角不大的情况下采用柔性铰链做支撑可以取代传统的铰链机构。通过柔性铰链的应用，非常有利的解决了微小物体在被夹持中意外的运动和接触引起的振动[9] 1 压电陶瓷; 2 柔性铰链; 3 微夹钳钳臂;　4 机座; 5 夹片 图1　微夹钳结构示意图 微夹钳以弯曲型双晶片压电陶瓷悬臂为手指，采用对称的两指结构。因此对徽夹钳位移、力特性的研究可从单个压电陶瓷悬臂模型着手。当在压电陶瓷片厚度方向施加外电场时，压电陶瓷将沿厚度方向极化，一片压电陶瓷伸长，而另一片收缩，从而发生弯曲形变。如图所示，3(Z轴)为极化方向，1(X轴)为悬臂的长度方向，2(Y轴)为悬臂的宽度方向【10】。 采用单晶