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薄膜物理与技术大作业 薄膜物理技术的基础知识 及纳米薄膜的应用 作 者 姓 名 学 号 班 级 专 业 学 院 指 导 老 师 目 录 摘 要 ………………………………………………3 一. 真空薄膜技术………………………………………3 二．薄膜技术在显示领域的应用……………… ……10 三．纳米薄膜…………………………………………14 四．薄膜技术的意义…………………………………22 五．参考文献…………………………………………24 摘 要 真空薄膜技术发展至今已有200年的历史。探索者的艰辛各种材料的薄膜化已经成为一种普遍趋势将21世纪科学与技术领域的重要发展方向之一 ［2］邹红叶硅薄膜太阳能电池的原理及其应用物理通报2009 ［3］卢进军光学薄膜技术2011 ［4］田民波薄膜材料与薄膜技术2006 ［5］杨邦朝. 薄膜材料与薄膜技术的发展动向：电子元件与材料, 1994 ［6］纳米薄膜的分类、特性、制备方法与应用.沈海军 穆先才， ［7］纳米薄膜锂离子电池电极材料.周永宁 傅正文 1 1 1