王愉等离子体报告.pptVIP

1.等离子体相关背景 1.等离子体相关背景 1.等离子体相关背景 2.等离子体参数 3.等离子体诊断简介 3.等离子体诊断简介 3.1 发射光谱法 3.2 Langmuir探针 3.3 阻抗测量 3.3 阻抗测量 3.3 阻抗测量 3.3 阻抗测量 3.3 阻抗测量 3.3 阻抗测量 3.4 法拉第离子能量分析法 3.4 法拉第离子能量分析法 3.4 法拉第离子能量分析法 3.4 法拉第离子能量分析法 3.4 法拉第离子能量分析法 3.5参数的影响因素 3.5参数的影响因素 3.5 参数的影响因素 3.5 参数的影响因素 4.参数对薄膜沉积影响 4.参数对薄膜沉积影响 4.参数对薄膜沉积影响 4.参数对薄膜沉积影响 4.参数对薄膜沉积影响 鞘层 3.1 发射光谱法 在不同的工作压力和不同的直流 放电功率下，沉积速率随氩离子 能量的增大而增大 当氩离子流密度很小时，沉积速率 随氩离子流密度的增大而增大，当 超过流密度超过某一个值后,沉积速 率随氩离子流密度的增大而减小 沉积粒子的能量也随氩离子能量 的增大而增大 离子能量、密度可以通过影响薄膜的沉积速率而对薄膜的生长产生影响 * * Is:通过分布电容电流 Cs:分布电容 Rp:负辉区电阻 Rp:负辉区电阻 Cp:鞘层电容 Xc等离子体容抗 Verb 低温等离子体诊断技术 报 告 人：王 愉 指导老师：冷永祥教授 2013.10.07 西南交通大学 Southwest Jiaotong University 等离子体参数对薄膜的影响 等离子体诊断简介 等离子体相关参数 等离子体相关背景 Contents 宏观电中性 完整体系 高电导率 等离子体 (plama) 等离子体是带电粒子聚合体，是导电流体 粒子间存在相互作用力。物质存在第四态 占绝大多数的中性粒子和离子仍处于环境温度，占少数的高能电子提供反应能量 低温等离子体 等离子体是受电磁场作用的，可以控制其能流方向 可以通过电磁场将其约束于局部地区，而不会对器壁产生损坏 具有活性的气氛，为反应提供可能 可以产生非常大的能流密度 各向异性的能量分布 电子温度介于几到几十电子伏特； Te（电子温度）Ti（离子温度）； TeTn（中性粒子温度） 手段 可用紫外辐射、X射线、电磁场、加热等方法。实验室和工业产品大都采用电磁场激发等离子体，如直流辉光放电、射频放电、微波放电和介质阻挡放电。 应用 具有全球影响的重要的科学与工程，广泛应用于半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体冶金、等离子体合成、等离子体煤化工、等离子体等领域。 粒子数密度：等离子体的粒子数密度，表示等离子体在单位体积内含有的粒子数为n。 电子温度：对于非平衡态（低温）等离子体，由于电子、离子可以达到各自的平衡态，Te和Ti表示电子温度与离子温度，经常用eV作单位。 电子能量：电子所具有的能量大小。 离化率：被电离的原子占全部溅射原子的百分比 数值上=溅射离子数量/(溅射离子数量+中性粒子数量) 包括微波诊断、光谱诊断、激光诊断等，不对等离子体产生干扰。微波诊断是当微波进入等离子体中时，会引起那些谐振频率与微波一致的粒子的共振，共振将改变微波的传播，通过测量传播变化的信号，可以诊断出等离子体中粒子的分布。光谱诊断光谱诊断是利用光谱仪器中的色散元件将光源发出的不同波长的光分开，并记录各自的发射强度，得到按一定次序排列的发射光谱。激光包括激光干涉、Thomson散射等。 介入式诊断 非介入式诊断 包括Langmuir探针、法拉第探针、阻抗测量法等。诊断方法较简单，一般用于大面积以及均匀分布的等离子体，但是数据处理起来比较麻烦。Langmuir探针可以用来测量等离子体中电子的密度、温度、空间电位和电子能量分布函数等参数。阻抗测量法可以用来测量等离子体电阻、电容等。以网络分析理论为基础，结合等效电路模型得到阻抗的实部和虚部，再结合射频放电模型得到等离子体的电子密度。 表征等离子体性质的重要热力学参数。它的大小从102K到109K跨越了7个量级 静电探针法、光谱学方法、质谱学方法和微波探针法 无须对样品进行预处理，灵敏度高分析时间短，对分析样品具有极小的破坏性 电子温度 测量方法 光谱 学法 二谱线法 在满足局部热力学平衡前提下： 电子温度Te 相同离子或原子的两条谱线的强度关系可表示为：（I,A,λ分别为谱线辐射强度、跃迁几率、波长) 通常朗缪尔单探针由一个插入到等离子体中的金属电极和相应测量回路组成。 Langmuir探针可在等离子体密度在100/cm3~10l3/cm3，温度0.leV~102 eV，等离子体电位0.1 V~103 V，中性气体压强l0-4Pa~102 Pa的广