液相原子力显微悬臂梁动态特性与成像分析.pdfVIP

摘 要 摘 要 原子力显微镜柔性的工作环境以及对各种样品良好的适应性，使得它在生物 科学、材料科学、物理化学等众多领域有着重要应用。科技的飞速发展，对于原 子力显微镜提出了更高要求。而相对于真空和大气环境下较为充分的研究，液相 原子力显微镜的研究显得不足，特别是作为阐明成像传感机理、合理解释数据基 础的原子力显微镜悬臂梁的动态特性亟需深入的研究。本文围绕液相原子力显微 镜悬臂梁的动态特性，综合利用实验、理论与有限元仿真，进行了以下几个方面 的工作： 1. 压电激励原子力显微镜悬臂梁在液体中自由振动时，频率响应曲线中干 扰峰的产生原因与其消除。实验结果表明，激励悬臂梁的压电陶瓷自身的共振与 压电陶瓷-悬臂梁的接触界面对干扰峰的产生起主导作用；而通过在压电陶瓷与 悬臂梁接触界面间添加弹性吸振层能够简单有效地消除由接触界面产生的干扰 峰。 2. 液体中原子力显微镜悬臂梁靠近平整基底过程中的动态特性。结果显示， 去离子水中悬臂梁在靠近平整基底过程中存在两种典型的振动行为，分别对应于 小自由振动振幅下的约束水膜主导作用和大自由振幅下的排斥针尖样品作用力 主导作用。 3. 液体中原子力显微镜悬臂梁靠近一定结构基底过程中的动态特性。3D 模 式显示，水中光栅结构约束的水膜对悬臂梁的振动有明显影响。即便在相同设定 条件下，探针在光栅台阶单元和槽单元的振动状态也可能不同。 4. 结合实验，本文建立了悬臂梁振动的质量-弹簧-阻尼模型，分析了约束水 膜和流体阻尼的作用与性质，并进行了相应的系统和有限元仿真，均与实验符合 良好。 本文从自由振动、靠近平整样品到靠近一定结构样品，研究了原子力显微镜 悬臂梁在液体中的振动特性，进而选择合适样品进行成像，分析了悬臂梁动态特 性、主要成像参数对液相原子力显微镜成像的影响。这些结果对于阐明液相原子 力显微镜成像传感机理、合理解释原子力显微镜数据有一定意义。 关键词：液相原子力显微镜 悬臂梁动态特性 成像分析 I Abstract ABSTRACT Atomic force microscopes (AFMs) have wide applications in the biology, physics, chemistry, materials and other fields for its applicability to different samples and working environments. Science developments put forwards higher demands for the AFMs. However, compared to the application in air, less is known when AFM is operated in liquids, especially cantilever dynamics, which is the background for the understanding of the imaging mechanism and reasonable explanations of the acquired data. In this paper, combined with methods of experiments, theory modeling and finite element simulation, works as following conducted: 1. Origin and elimination of spurious peaks in the frequency response curves for free vibrating piezo-driven AFM cantilevers in liquid. It was found that the spurious peaks are dominated by two main factor