用于平面显示器件的新型微孔道板分析.pdf

用干平A显示器件的新型微孔道板的研究 摘 要 微孔道板 (MCP)在微电子流检测中是一种常用而有效的 卜具 而通道式象 增强器所采用的也是微孔道板。MCP以其高增益、低噪声等优点 获得了越来 越广泛的应用。而传统的MCP是由玻璃管拉制而成，由于在制造技术上存在限 制，使它的使用面积受到制约，在平面显示器件中难于应用。为此，我们希望 能够克服传统MCP的弊端，从材料结构和制造技术土进行革新，研制新型MCP, 用于平面显示器件。 \孙}jMC。的微孔道司由两种方法获得:一是采用光敏微晶玻璃，通过光刻 腐蚀的方法制成;另一种是直接采用多孔玻璃。在微空玻璃的每个微孔的内壁 涂敷二次发射系数。值较大的发射材料一Mg0薄膜。经过 系列实验，可以证 明，新型MCP有良好的电学性能，具有美好的应用前景 本论文将详细介绍这 种新型微孔道板的结构、制造方法以及测试结果等。 由于彻底淘汰了传统MCP的工艺，新型MCP可制成任意的面积大小，大大 扩展‘了它的使用范围。特别值得一提的是，在正在研制的一种新型多层平板结 构的真空微电子显示器件中，这种新型MCP作为关键部件之一，将发挥传统MCP 所不能完成的重要作用夕 关键词: 微孔道板 光敏微晶玻