新型水射流导引光加工系统光学特性与关键技术研究.pdfVIP

摘要 摘要 随着精密加工和超精密加工技术的不断发展，激光与其他加工技术的复合 逐渐成为加工制造领域的主流技术。在激光复合加工技术中，激光与水射流复 合加工技术，即水导引激光加工技术是激光加工技术发展的一个新方向。与传 统激光加工技术相比较，水导引激光加工技术具有加工距离长、热影响区小、 无热熔渣和加工效率高等优势，已在微电子、航空制造、机械、医学等加工领 域中得到应用。 然而，现有的水导引激光加工技术采用传统聚焦透镜光学系统，不可避免 地存在精密调焦、离焦发散角对耦合条件的影响以及聚焦光学系统的像差等问 题。为了解决这些问题，基于轴棱锥镜产生的无衍射光束的中心光斑特性，本 文首次将无衍射光束引入到水导引激光加工体系中，设计出了具有同轴监测功 能的水射流导引激光加工系统的新方案。 深入研究了水射流导引激光加工系统的光学特性、水光纤的流体力学特性 及耦合系统的关键技术。利用水光纤波导导引无衍射光束，改变了激光束的能 量高斯分布状况，实现了激光的能量近似平项均匀分布，有效地改善工件加工 质量，同时，利用本技术有效扩大了的加工范围，实现在二维平台对工件的三 维加工。此外，设计了耦合装置，有效解决了无衍射光束与水光纤波导的耦合 效率及传输损耗等关键技术问题。并提出一种新的无衍射光斑中心检测算法， 提高了系统的监测精度。 本文的主要创新点如下： 1．首次把无衍射光应用于水导引激光加工系统。通过对轴棱锥镜产生无衍 射光束的光学特性研究，利用无衍射光束具有中心光斑小，能量分布均匀，准 直范围长的特点，采用轴棱锥镜替代现有水导引激光技术中的聚焦透镜的技术 方案，彻底解决聚焦光学系统的调焦难题，降低了整个系统对设计、加工与调 试精度要求；(专利受理号：200910111326．O) 2．利用轴棱锥产生的无衍射光束在无衍射区域内光束发散角小，可把无衍 射光近似于平行光的特性，有效地解决了激光与水光纤波导的耦合损耗关键技 水射流导引激光加工系统光学特性与关键技术研究 术。 3．设计了加工、监测、指示定位三光轴同轴独特的光学系统(发明专利号： 200710009244．7)，简化了整机光学系统。本光学系统可实现了激光加工全过程 的精确定位指示，并对激光与喷嘴耦合情况、水中气泡以及喷嘴的损坏等情况 的实时监测； 4．基于亚像素细分算法和边缘图像检测方法，提出了利用无衍射光束环栅 的边缘信息对无衍射激光光斑中心的亚像素定位检测算法。实验结果表明，本 算法实现了对无衍射光束光斑中心高精度定位，有效提高了系统的监测精度。 关键词：水导引激光轴棱锥镜同轴监测． 11 Abstract Abstract With the of and developmentprecision machiningultra-precisionmachining have becomethe technologies，laser-hybridprocessingtechnologies gradually mainstreamof field．Intermsof manufacturing laser-hybridprocessingtechnology, thecombined oflaserandwater thewater processingtechnology jet,namelyjet laser anewdirectiono