尺蠖式压电步进针机构的研究.pdfVIP

摘要 扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope，STM)是纳米测量研究中最 有力的工具之一。粗进针机构作为其核心组成部分之一，在很大程度上决定了 STM的结构和性能。在商用STM中，普遍采用直线步进电机进行粗进针，然而 由于存在螺纹空程、传动摩擦、间隙和发热等问题，直线步进电机的定位精度只 维持在微米量级，并且其温度漂移导致的结构微小变化也会影响STM成像质量， 甚至会导致撞针的情况发生。 本论文研究并制作了一款适用于STM的尺蠖式压电步进进针机构，将柔性 铰链与压电陶瓷结合，实现了单步的步距误差小于6nm，理论运动范围大于50mm 的位移运动。试验表明，所设计的进针机构具有稳定的位移特性、足够的刚度和 工作可靠性，并且具有断电箝位锁紧功能，不仅可以水平应用，而且可以垂直应 用，很好地满足了STM仪器对粗进针机构的要求。 本课题完成的主要T作包括： 1．研究和分析了多种STM粗进针机构在空间结构、加工装配、工作稳定性 等方面的优缺点，确定了尺蠖式压电步进的设计方案。 2．设计了尺蠖式的压电步进进针机构机械结构。完成了箝位和中间八连杆 柔性铰链结构设计，并利用ANSYS有限元分析软件进行了仿真验证。 3．针对尺蠖式压电步进进针机构，研究了运动控制算法，设计了系统的控 制电路，实现了进针机构的稳定运动。 4．对进针机构进行了水平方向和垂直方向的性能测试，包括进针机构的单 步步距、八连杆的线性和重复性以及机构的运动速度等。 5．设计了隧道电流采集电路并搭建实验系统，配合所设计的进针机构实现 了完整的粗动进针实验。 关键词： STM进针机构压电陶瓷尺蠖式步进器柔性铰链 ABSTRACT Scanningtunneling oneofthe instruments microscope(STM)isadvantageous fornano determinedthestructure devices，which technology．Theprobeapproaching andthe of in performanceSTM，areke)7componentsit．However，themotors， stepping whichareused for inSTM exothermicand probeapproachingconventionally，are forfine driftscausedthemotorwillinfluence unstable，especiallyscanning．The by the asadditionalnoisesoreven scanningimage makethescanner the of beyondrange stable tracking． A is for inthis piezoelectricinchworm—stylestepperdesignedprobe approaching andPZTstacksareusedtoconstitutethe paper．Flexiblehinges