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用于超光滑表面的多光束干涉显微测头的研究 摘要 本论文研究的主要内容是设计一套用于超光滑表面的多光束干涉显微测 头。系统主要部分为光学结构部分，辅助部分为信号处理电路部分。光学测头 最重要的性能之一是系统的分辨力，而光学结构是保证系统分辨力的核心。 光学结构分为两个部分进行设计：1)多光束干涉；2)共焦显微。其中多 光束干涉用于保证系统的轴向分辨力，共焦显微技术用于快速准确的寻找系统 工作区域和为下一步的横向分辨力测试做技术积累。信号处理电路分为三种：1) 光电转换电路；2)信号调理电路；3)滤波电路。光电转换电路用以实现光强 信号到电压信号的转变，信号调理电路根据光学信号的特点来完成对两路电压 信号的预处理，滤波电路用以消除环境带来的噪音及干扰保证系统分辨力。 本论文完成以下工作： 1)设计了具有差动光路的共焦多光束干涉显微测头的光路结构； 2)介绍光路结构设计中用到的多光束干涉理论和共焦显微技术的基本理 论； 3)推导光学系统的干涉条纹分布曲线； 4)设计光学参数，包括：反射平板反射率最佳值为40％、针孔光阑直径 300um、测量透镜与采集透镜之间的光程80衄； 5)设计光电转换电路、根