XPS光电子峰与俄歇电子峰峰位表.pdfVIP

第 15卷第 1期 分析测试技术与仪器 Volume15Numberl 2009年03月 ANALYSISAND TEsTlNG TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS Mar．20o9 编委论坛(1一l7) XPS光 电子峰和俄歇 电子峰峰位表 刘 芬，赵志娟 ，邱丽美，赵 良仲 (中国科学院 化学研究所，北京 10ol9O) 摘 要：在长期从事XPS分析测试的经验基础上，搜集了有关文献中的大量数据，编制了XPS光电子峰和俄歇电 子峰峰位表，用于正确识别各种样品XPS谱图中的电子峰，达到快速、正确分析各种样品元素组成和化学组成的目 的．本峰位表对于从事XPS测试的分析人员和应用XPS的科技人员具有很好的实用价值． 关键词：x射线光电子能谱；元素组成分析 ；化学态分析 中图分类号：0657．32 文献标识码 ：A 文章编号：1006-3757(2009)01-0001-17 在x射线光电子能谱 (XPS)分析中用特征 x 因此，如果被分析的样品中含多种未知元素，所 射线 (通常是AIK 和MgK。线)照射样品，光子把它 得的扫描谱图可能比较复杂，分析测试人员在识别 的全部能量交给原子中某壳层上的束缚电子，光子 谱峰时可能会耗费较长时间，甚至可能指认错误．根 能量的一部分用于克服电子结合能，余下的就作为 据我们的经验，即使使用谱仪计算机中的数据库来 电子的动能而发射出去，成为光电子．只要入射光子 识别谱峰，也会出现上述情况：为此我们编制本峰位 的能量足够克服电子结合能，光电子就可以从原子 表 (表 1和表 2)，以帮助分析人员较快地识别谱峰 的各个壳层(K，L，M…)发射出来，因此在能谱图 和确定样品的元素组成． 上可以看到对应于这些壳层的多个光电子峰．如果 以下就如何使用本峰位表加以说明： 光电子是从原子某壳层的P，d，f轨道上发射出来， 在分析未知样品时，一般先进行全扫描，以确定 由于自旋一轨道偶合作用导致能级分裂，因而通常 其元素组成，然后进行窄扫描，以确定元素的化学 会出现一对光 电子峰 (P 和 P3／2，d，尼和 d5，2，f5／2和 态．在全扫描谱图中，纵坐标是峰强度 ，横坐标是电 f7／)． 子结合能．在本峰位表中第 1栏是峰位，即电子结合 光电子发射后原子 内层产生一个空穴，这时原 能，第2栏是元素能级．第 1栏中的电子结合能是从 子处于激发态，在去激发过程 中又能引起俄歇 电子 低到高的顺序排列，列出可能的元素及其能级的电 发射，其过程几乎和光电子发射同时发生，所以在能 子峰峰位．这样做可以较清楚地显示同一峰位及其 谱图中除光电子峰外还会出现 x射线激发的俄歇 临近可能出现的元素种类，以便于分析判断．所列元 电子峰，而且俄歇电子峰往往出现一群，情形比较复 素不包括放射性元素，所列能级基本上不包括价电 杂． 子能级．表中的第 3栏 自旋轨道分裂是指 P、d、f轨 在XPS谱图中除光电子蜂和俄歇 电子峰以外， 道发射光电子后由于 自旋一轨道耦合作用引起的能 还可能出现其它种类的电子峰，如：同一元素因存在 级分裂的大致间距 (eV)．第 4栏强度记号是指该 一 种以上化学态引起的化学位移峰；X射线伴线(主 元素的全扫描谱中的最强峰 ( )，次强峰( 要有K 和KB)激发的光电子峰；X射线源阳极污 )和第 3强峰 ( )，比较相对强度时包括了光电 染产生