《SiO2微悬臂梁制备及其高阶谐振的传感器研究》.pdf

光 电 子 ·激 光 第24卷 第 11期 20t3年 11月 JournalofOptoelectronic~ Laser Vo1．24No．11 November2013 Si 微悬臂梁制备及其高阶谐振的传感器研究 周雄图，张永爱，郭太 良 (福州大学 物理与信息工程学院，福建 福州 350002) 摘要 ：为 了提高 SiO2微悬臂梁动态检测灵敏度 ，对 T型 SiO2微悬臂梁 的制备和高阶谐振模态传 感器进行 了研究。以绝缘体上 Si(SOI)为起始材料制备 了不 同长度 T型 SiO2微悬臂梁 ，利用原 子力显微镜 (AFM)中精密 的光学位置敏感检测器及 数据处理系统对其频 率进行表征 ，获得 了与 仿真结果相一致 的数据 。基于高阶谐振模态 的免疫反应结果表 明，对于相 同的质量变化量 ，微悬 臂梁 的弯 曲振动模式阶数越高 ，其频率偏移越大 ，从而达到较高 的灵敏度 ；实验制备 的 SiO2微悬 臂梁前三阶弯 曲振动模式 的检测灵敏度分别为 1．36、9．78和 26．92Hz／pg，利用二阶弯 曲振动模式 可检测 出 21．5pg的分子 吸附 。 关键词：siO2微悬臂梁 ；绝缘体上 Si(SO1)；高阶谐振模态；免疫反应 中图分类号 ：TP206．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1005—0086(2013)11—2055—05 Fabrication ofSi micro-cantilever basedonhigherresonancemodes ZHOU Xiong-tu．ZHANG Yong-ai，GUO Tai—liang (SchoolofPhysicsandInformationEngineering，FuzhouUniversity，Fuzhou350002，China) Abstract：Si02micro-cantileverhasbeenwidelyusedinthefieldofchemicalandbiologicalsensorsdueto itshighsensitivity．InordertofurtherimprovethedynamicsensitivityofSi02micro-cantilevers，thefab— ricationanditssensorapplicationbasedonhigherresonancemodesarestudiedinthiswork．First，Sili— con-on-insulator(SOI)iSUSedasstartingmaterialforthefabricationofT-shapedSi02 miero-cantilevers withdifferentlengths．Then，commercia1atom forcemicroscopy (AFM)withaccuratephotoelectronic system isemployedforthecharacterizationofthefrequencyandthefrequencyshiftbeforeandafter massadsorption．ItisfoundthatthefirstthreebendingfrequenciesoftheT-shapedSi02 micro-cantile—— verswithtotallengthof250tzm are18．86kHz，164．27kHzand467．25kHz，respectively，whichare wellconsistentwiththesimulatedvalues．Moreover，forthesameamountofmasschange，thehigherthe flexuralresonancemodeis，thelargerthefrequencyshiftofthe