BNI融合的微纳传感器及系统基础研究.docVIP

项目名称： BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2006.1至2010.12 中国科学院 上海市科委 1、拟解决的关键科学问题 本项目的核心是超微量检测微纳传感器。面的框图所示。 纳米尺度效应及模型：当材料的尺度到了纳米尺度后，会产生明显的尺度效应。如硅材料在纳米尺度下其热传导、杨氏模量和压阻系数等特性不仅与材料的尺度有关，而且热传导系数变小有利于检测生化特异性反应产生的热量，杨氏模量变小则有利于在同样的应力条件下获得大的位移，压阻系数变大将可以大大提高压阻式传感器的灵敏度。因此，通过搞清材料的纳米尺度效应及模型，就可以将这些效应及模型用于微纳传感器的研究，从而大幅度提高传感器的灵敏度，研制出超微量快速检测微纳传感器。而且，这些效应及模型是材料的基本特性，其他微纳器件的研究也需要搞清这些问题，如纳电子器件的散热就与热传导纳米尺度效应密切相关。因此，这一科学问题的解决，对其他微纳器件的研究也有十分重要的意义。 生化特异性反应能量通过界面效应转换为微纳表征能量的机制：由于要检测的外界信息很多不是物理量，因此如何将需要检测的外界信息转换为微纳敏感结构可以检测的物理量是关键科学问题。生化特异性反应将要检测的生物量或化学量转换成微纳敏感结构可以检测的物理量生化特异性反应微纳传感器的。对于微纳传感器来说制造是基础，没有