双级解耦微机械螺的结构设计及特性研究.pdfVIP

双级解耦微机械陀螺的结构设计及特性研究 摘 要 本文由曩前电容式微机械陀螺的工作原理毒发，从力学模型的角度分柝了 未解耦式微机械陀螺和单级解耦式微机械陀螺工作中所存在的问题，以进一步 减小结构的机械勰合误差、提高陀螺的灵敏度和保证一定的_工作带宽为目标， 设计了一种新型结构的双级解耦电容式微机械陀螺。 本文在初步建立起陀螺的三维实体模型艨，用有限元软件分析了结构中备 类关键弹性元件的刚度，验证了设计的合理性；考察了陀螺振子在舀由状态下 的应力和位移状况，分析了陀螺振予在极限位置状态下的应力情况，计算了陀 螺振子在满足长期稳定工终条件下的抗疲劳性能，确定了陀螺的初始尺寸；通 过分析振子结构中几处关键尺寸的变化对其自身动力学性能的影响，最终确定 了陀螺振子的尺寸，使陀螺振子的驱动模态和检测模态精密的匹配起来，同时 保证了一定的工作带宽；本文还通过对振子进行瞬态动力学分析，对新确立尺 寸的陀螺振子进行了静力学校核，分析了简谐振动中振子的应力变化状态，研 究了振子在正弦静电力激励下沿着不同振动方向的响应状况。 本文的研究对MEMS传感器的设计方法提供了一定的借鉴意义，对双级解 耦微机械陀螺的结构研究提供了一种新的思路，为进一步研究微机械陀螺在多 场耦合作用下的特性奠定了基础。 关键词：微机械陀螺 双级解耦 有限元 疲劳 模态 瞬态 the Micromachined A of Decoupled Gyroscope Study Doubly ItsCharacteristics and Design Abstract ofthecurrent fromthe capacitive This starts operationalprinciple paper mieromachined the existinthe analyzesproblem gyroscope，then the basedonthe not and type whichis decoupledsingledecoupled gyroscope anew ofdoublydecoupled mechanicalmodel type aspect，anddesigns of themechanical withthe coupling micromachined reducing gyroscopepurpose and a the ofthe keeping errorofthe sensitivitygyrosco