《基于大位移柔性结构的动镜支撑机构设计及研究》.pdfVIP

第 43卷第 8期 红 外与激 光 工程 2014年 8月 Vo1．43NO．8 InrfaredandLaserEngineering Aug．2014 基于大位移柔性结构的动镜支撑机构设计及研究 张 明月 。杨洪波 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033； 2．中国科学院大学，北京 100049) 摘 要：针对傅里叶红外光谱仪 系统对动镜支撑机构高精度高带宽的要求，采用平行簧片结构设 计 了一种动镜柔性支撑机构。首先分析 了平行簧片柔性结构的特点，通过理论分析给 出了动镜支撑 机构的设计依据 ，采用有限元方法分析 了机构的动态响应和静态响应，同时与两杆移动机构进行了 对 比，结果表 明结构的一阶固有频率为 244．79Hz，系统位移为 14mm时产生的垂直于移动方 向的 寄生位移为0。611m，最大应力值为 131MPa，性能明显优于两杆移动机构。通过理论分析和有限元 分析为该机构的深入研究和 实际应用奠定了良好的基础 。 关键词：支撑机构 ； 簧片 ； 寄生位移 ； 固有频率 中图分类号：TH744．1；O734 文献标志码 ：A 文章编号 ：1007—2276(2014)08—2595—07 Design andresearchofmovingm irrorsupportingmechanism based on largedisplacementflexiblestructure ZhangM ingyuel_，YangHongbo (1_ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsnadPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：According to the requirements of high resolution and high bandwidth on moving mirror supportingmechanism in Fouriertransform infrared (b-T／R)spectroscopy．A movingmiT／orsupporting mechanism was designed by praallelleaf springs．First，hte characteristic ofparallelleafspringswas analyzed；and then，hte design basis ofmoving mirrorsupporting mechanism waspresented by hteory analysis．Dynami cal response and static response were computed with the finite elementmethod． Meanwhile，calculation resultswere compraed with paralleltwo beam moving mechanism ．The results show thathte firstorder naturalfrequency is 244．79 Hz，the parasite displacement perpendicular to movingdirectionis0．611 m whenmovingdisplacementis141TUTI，themaximum srtessvalueis131MPa． Theconclusion isthathtismechani