洁净室的检测(111页).ppt

风速测量仪表 风速测量仪表按作用原理可分为机械式、散热率式和动力测压式等。 1. 机械式风速仪 机械式风速仪如翼形风速计，它是利用流动气体原动压推动机械装置来显示其流速的仪表。风速仪的敏感元件是一个轻金属制成的叶轮，翼形叶轮的叶片由8～10片扭转成一定角度的薄片组成。在动压作用下，叶轮产生回转运动，其转速与气流速度成正比。叶轮的转速可以通过机械传动装置连接指示或计数装置，以显示其所测风速。 一般翼形风速计用于测量0.2～10m/s风速。如果风速低于0.2m/s，多数翼形风速计的机械摩擦就会影响翼片的转动，测值的误差将较大。 测定时需注意以下问题： 使用前翼形风速计宜经标准风筒校验或定期校验，使用时应在有校验期内。 使用前需检查风速计长短针是否在零位，若不在零位，可顶回零位。 测定时，气流方向应垂直于叶轮平面。 风速不得超过测量上限，否则会造成螺丝松动或叶轮扭曲，以致损伤仪器。 叶轮是风速计的关键部件，由于裸露在外部，易受损伤，使用中严禁用手触摸和受到其他器物的碰撞。 叶轮风速计技术要求 散热率式风速仪 散热率式风速仪是根据流体中受热物体的散热率与流体流速成比例的关系制成的， 这种方法一般用于低流速的测量，测量下限一般为0.05m/s。 常用的散热率法风速仪有：热线风速仪和热球风速仪等。 一根被电流加热的金属丝,流动的空气使它散热,利用散热速率和风速的平方根成线性关系,再通过电子线路即可制成热线风速计.热线风速计适用于对小风速测量. 热线风速计 热球风速仪分测头和指示仪表两部分。测头由或电热丝等组成。当电热丝通以额定电流时，它的温度升高，加热了玻璃球，因玻璃球体积很小，球体的温度可以认为与电热线圈的温度相同。气流速度大，球体散热快，温升愈小； 反之，气流速度小，球体散热慢，温升愈大。按此原理，指示仪表可直接显示出风速。 热球风速仪具有对微风速感应灵敏、热惯性小、反应快、灵敏度高的特点。因为热球体积小、对气流的阻挡作用小，此外整个仪器体积小、携带方便。 热球风速仪 超声波三维风速仪 超声风速仪关键特性 免维护 重量轻 U、V、W、声速和声温输出 标准20Hz或另选32Hz输出率 模拟输入和输出可另选 主要参数： 量程：风速0～45m?s-1；声速为300～370m?s-1； 风向0～359.9° 测量分辨率：风速0.01或0.001m?s-1；风向0.1°或1°； 声速0.01m?s-1 测量精度：风速1.5%（全量程）；风向2°；声速 ±0.5%（20℃）  用风罩法测定非单向流洁净室或设施的风量 对于非单向流来说，风量和换气次数是所需掌握的最重要参数。通常需要测定各个送风口的送风风速以确定各风口的送风量，但非单向流送风口一般设有散流器或扩散孔板，因此风速不均匀、风向不明，难于用风速计准确测定。目前普遍采用带流量计的风罩测定各风口的风量，其相应的出风风速为： 式中 VS — 各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速，m/s QS — 各终端过滤器或送风散流器的送风量，m3/s AS — 送风口出风面积，m2 非单向流洁净室或设施的换气次数按下式计算： AC — 洁净室或设施的每小时换气次数， 1/h 或 AC/H ∑Qs — 洁净室或设施各风口送风量之和，m3/s V — 洁净室或设施的容积， m3 ISO 14644规定如果必须直接测量送风风速，则应将送风口散流器或扩散孔板拆除，测量平面定在距过滤器出风面150mm至300mm距离上，并将测试平面划分成若干个等面积的格子，每个分格尺寸最大不超过600×600mm，一般采用尺寸更小的格子以保证测值可靠。在每个格子中心测量风速后，按下式计算各终端过滤器或送风口的风量。 式中 Qs — 洁净室或设施中某个送风口的出风量，m3/s Vc,Ac — 某个送风口测定断面上各测点的风速及相应的分 　 格面积，m/s，m2 某洁净室或洁净设施的总风量等于所有送风口送风量之和∑Qs。 风量罩 风量罩主要由三个部分构成:风量罩体、基座、PDA构成.风量罩体主要用于采集风量,将风汇集至基础上的风速均匀器上.在风速均匀器上装有热式传感器,热式传感器将风速的变化,再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA,大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到风速和风量的数据.操作简单,可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录,以便对数据进行分析.测量和记录的数据被记录在存储卡上,不会丢失,可以通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用.  加拿大塞尔瑟斯 法国凯茂KIMO 美国ALNOR 美