新模具新技术新工艺概论 教学课件 于丽君 第七章.pptVIP

7.1.2 离子注入的技术特点 (1)原则上周期表中的所有稳定元素，都可注入到所选择的任何基体材料中 (2)注入元素的浓度可以很大，且和扩散系数无关。 (3)注入元素的种类、能量、剂量均可精确控制，易于获得注入元素所需的深度分布 (4)通过磁分析器可得到高纯的离子束。 ． (5)可注入离子团和多种离子，以合成所需的化合物和新合金相。 (6)离子注入层相对于基材没有突变界面，不存在注人层的剥落问题。 (7)注入可与溅射或蒸发工艺结合在一起进行，从而改善镀膜特性，这称为离子束辅 助增强沉积。 (8)在离子注入过程中，基体温度可控制在低温、室温或高温下。低温和室温注入， 能保持工件的原有尺寸精度和表面粗糙度，不影响待处理材料的整体性能。 (9)注入过程在真空下进行，这是清洁和精密的加工过程。 7.2 用于表面改性的离子注入机及离子注入工艺参数 由于金属的组织结构和成分复杂，不同的金属材料和不同的零件离子注入改性的目的也不尽相同，应用于金属的离子注入机已由单一的注人气体元素，发展到可以注入金属元素或气体和金属元素可以同时注入，或多组元的金属和非金属元素混合注入。目前较典型的用于金属材料表面改性的注入机有金属蒸气真空弧离子源(MEVVA)离子注入机和气体一金属混合离子源(TITAN)离子注入机。 图7—6新一代PSIII的结构及配置 图7—7新一代PSIII整机全图 离子注入的工艺参数 (1)离子能量(即离子源的加速电压)。多数注入机的能量在30keV~200keV。一般 来说，离子能量越高，离子注入的深度就越大。 (2)离子注入剂量。注入到样品的元素量，以样品表面上被撞击的离子数来计量，称 注入剂量。在表面改性应用中，注人剂量通常在1015ions／cm。一101ions／cm2。 (3)束流(靶流)。注人过程的速率决定于束流，(mA)，或者束流密度_『(mA／cm2)。 如果注入时间以t(sec)表示，D为注入剂量(ions／cm2)，g是一个离子所带的电荷 (g=1．6×10一’库伦)，Js(cm2)为注入面积，则 t=qDS／I 可见束流(I)越大，所需注入时间越短 7.3 离子注入技术在工模具中的应用 1．离子注入刀具的工业应用 2．冲针的离子注入 3．铝型材挤压模具的离子注入 4．渗氮+离子注入复合强化提高铝型材挤压模使用寿命 5．塑料模具的离子注入 6．采用PSII离子注入技术提高高速钢冲头寿命 7．离子束辅助沉积(IBAD)技术提高模具可靠性 无垠文海 邀你畅享 * 在线教务辅导网： 教材其余课件及动画素材请查阅在线教务辅导网 QQ:349134187 或者直接输入下面地址： 第7章 工模具的离子注入表面强化 * * 7.1 离子注入的基本原理和技术特点 7.1.1 离子注入的基本原理 离子注入是将预先选择的注入元素，在离子源中离化后，再将离子从离子源引出。高压电场加速，使其获得很高的能量，然后打人金属(固体靶)中的物理过程 图7—1离子注入系统原理简图 图7—2典型碰撞级联的产生过程 更改PPT母版功能键： PPT文档讨论群：253147947 *