《沉积气压对W—S—C复合薄膜结构和摩擦学性能的影响》.pdfVIP

2012年 6月 润滑与密封 June2012 第37卷 第6期 LUBRICATION ENGINEERING Vo1．37No．6 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2012．06．016 沉积气压对W—S—C复合薄膜结构和摩擦学性能的影响 韦春贝 代明江 侯惠君 林松盛 赵 利 (广州有色金属研究院新材料研究所 广东广州510651) 摘要：采用磁控溅射方法制备W—S—C复合薄膜，研究沉积气压对薄膜结构和摩擦学性能的影响。结果表明，复合 膜以非晶或纳米晶结构生长，沉积气压低时薄膜中C含量高，薄膜结构致密；沉积气压高时薄膜中WS含量高，薄膜 致密性下降。复合膜硬度在HV420～500之间，并且随着沉积气压的增加，硬度逐渐下降。在潮湿大气中的摩擦磨损实 验表明，实验载荷越大摩擦因数越小；随着沉积气压的增加，复合膜的摩擦因数先降低后增加；当沉积气压在0．45～ 0．55Pa时，复合膜的摩擦因数最低约为0．