电火花精密整形elid精密磨削试验研究.pdfVIP

中文摘要 随着科技的进步和高新技术产业的快速发展，脆硬材料的应用日益广泛，脆硬 材料的精密、超精密加工技术的研究也越来越受到重视。电火花整形是应用电火花 加工原理，利用工件和工具电极间脉冲性的火花放电，靠局部瞬时高温把金属材料 蚀除下来，从而通过工件和工具电极作相对成形运动达到整形的目的。ELID (ElectrolyticIn-process Dressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理 基础上发展起来的一项磨削新技术，是一种新型的在线连续修整磨削的方法。研究 表明，利用电火花精密整形后的高精度金刚石微粉砂轮作为工具，采用ELID磨削， 可以实现脆硬材料的超精密镜面加工。 本文通过对电火花加工技术、脆硬材料的磨削技术、金刚石砂轮的修整技术、 脆硬材料的磨削去除机理和ELID磨削机理等相关技术资料的分析，结合最新的ELID 磨削和电火花整形的研究成果，进行了金属基金刚石微粉砂轮电火花精密整形与氮 化硅陶瓷的ELID精密磨削试验研究。试验采用了先进的纳米级微进给工作台和 过反复调整试验参数，不断优化试验流程，并在对试验现象和试验数据的研究处理 的基础上，本论文总结了金属基金刚石砂轮电火花整形规律和氮化硅陶瓷ELID磨削 规律，为今后在电火花精密整型技术和ELID精密磨削技术的研究方面，及二者结合 实现超精密加工的应用方面提供了一定的借鉴作用。另外，通过改进试验手段和方 法，在试验结果上，电火花精整后的金刚石砂轮的圆度误差达到了0．8uⅢ， ELID 磨削的氮化硅工件表面粗糙度值达到了1．0nm，取彳导了较好的效果。 关键词：超精密加工技术；脆硬材料；电火花精密整形；在线电解修整(ELID) ABSTI认CT Withthe ofscienceand andfast the progress technology of new development hardand materialsarc brittle more high—techindustry,the appliedextensivelydaybyday； moreattentionis totheresearchofthehardand paid brittlematerialultra being precision ofED(Electro isonekindof processtechnology．Theprinciple Discharge)truing which and electric work toolelectrode is sparkprocess，in piece sparkofpulsedischarge utilizedto metalmaterialfromwork meansofinstantaneous separate pieceby high anew involvedin temperature．ELID(ElectrolyticIn—processDressing)istechnology electricchemical