《离心芯片上虹吸阀的设计与制备》.pdfVIP

MEMS 传感器 MEMSandSensors 离心芯片上虹吸阀的设计与制备 杨儒元，苑伟政 ，何 洋 (西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室，西安 710072) 摘要：实现 了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理， 设计了一种离心式微流控芯片上虹吸 阀结构。采用数控精雕在聚 甲基丙烯酸 甲酯 (PMMA)上 直接加工出凹形结构，再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相对 于传统的MEMS工艺， 这种方法大大节省 了加工时间和成本。同时相对 于大多数聚合物材料的疏水特性 ，PMMA 的亲 水性可以避免材料表面亲水改性 问题 ，简化了虹吸阀制备 的工艺流程。该虹吸阀性能稳定，结构 简单，能实现片上流体控制，为更加复杂的芯片提供 了一种可靠的阀及一种快速制备方法。 关键词 ：离心式微流控 ；虹吸阀；聚甲基 丙烯酸甲酯 (PMMA)；溶剂辅助键合 ；数控加工 中图分类号：TH703 文献标识码 ：A 文章编号 ：1671—4776 (2014)03一O156一()5 Desi