22-TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪说明书.docVIP

天津拓普 TPY-2型 自动椭圆偏振测厚仪 V1.0 天津市拓普仪器有限公司  目录 概述 ………………………………………………………………………………… 1 仪器的用途 ………………………………………………………………………… 1 椭圆偏振法测量原理 ……………………………………………………………… 1 仪器的主要性能指标 ……………………………………………………………… 2 仪器的组成和结构 ………………………………………………………………… 2 光源机构 ………………………………………………………………… 2 起偏机构 ………………………………………………………………… 3 检偏机构 ………………………………………………………………… 3 接收机构 ………………………………………………………………… 4 主体机构 ………………………………………………………………… 4 装卡机构 ………………………………………………………………… 5 光学系统 ………………………………………………………………… 6 仪器的安装说明 ………………………………………………………………… 6 实验步骤 ………………………………………………………………………… 6 仪器的软件设计