磁控溅射在PI-石墨烯基体上制备氧化锌薄膜.pdfVIP

第38卷 第4期 辽宁科技大学学报 Vol. 38 No. 4 2015年8月 Journal of University of Science and Technology Liaoning Aug. 2015 磁控溅射在PI/石墨烯基体上 制备氧化锌薄膜 刘思宁，周艳文，沙天怡，齐艳萍，佟欣儒，王羽倩，吴法宇 （辽宁科技大学 材料与冶金学院，辽宁 鞍山 114051） 摘 要：聚酰亚胺(PI)/石墨烯复合薄膜兼备了可挠曲性及透明、导电性，可作为柔性透明导电电极用于柔性电 子器件中。但附着于PI 上的石墨烯易划伤，使其导电性变差。本文采用脉冲直流磁控溅射法，以PI/石墨烯为基 体，镀制保护石墨烯的氧化锌薄膜。分别采用原子力显微镜、X 射线衍射仪、台阶仪、霍尔效应仪及紫外-可见分 光光度计检测PI/石墨烯/ZnO 复合薄膜的表面形貌、晶体结构、薄膜厚度及导电、透光性能。结果表明，PI/石墨 4 烯/ZnO 复合薄膜结构致密，氧化锌以（002 ）为择优取向，最低方阻为1.9×10 Ω/sq ，略低于石墨烯的方阻，可见光 区平均透光率达80%。 关键词：PI/石墨烯/ZnO 复合薄膜；脉冲磁控溅射；透明导电电极 中图分类号：O484.4 文献标识码：A 文章编号：1674-1048（2015 ）04-0241-07 DOI ：10.13988/j.ustl.2015.04.001 透明导电薄膜是一种重要的光电信息材料， 原子厚，通常制备的石墨烯薄膜耐磨性差，极易破 ［1］ ［2 ］ ［3 ］ 在平板显示器 、太阳能电池 、建筑玻璃 等领域 损，从而导电性被破坏。氧化锌（Zinc oxide ， 得到广泛的应用。随着科技的飞速发展，人们对 ZnO ）是一种 - Ⅵ族具有六角纤锌矿结构的半导 Ⅱ ［10］ 透明导电电极有了新的要求——柔性及可挠曲 体材料，常温下为n 型半导体 ，通过掺杂Al ，Ga ， ［11- 12］ 性。但是目前应用最为广泛的是铟锡氧化物透明 In 等 来提高其导电性。其薄膜制备方法主要 ［13- 14］ 导电膜（Tin doped indium oxide ，ITO ），此薄膜脆 有：溅射法（Sputtering） 、金属有机物化学气相 ［15- 16］ ［17］ 度较高，实际应用时厚度要求大于300 nm ，因而难 沉积（MOCVD ） 、分子束外延（MBE ） 、溶胶- ［18］ 以制成柔性电极。相比于ITO ，石墨烯只有一层原 凝胶法（Sol-gel） 等。因此，本文采用脉冲磁控溅 子，具有更好的柔韧性，柔性基石墨烯透明导电薄 射法在PI/石墨烯基体上制备氧化锌薄膜，使之成 膜的发展前景可观。石墨烯是在2004 年首次被使