《一种基于交趾型PN结的Si基微盘电-光调制器.》.pdfVIP

光 电 子 ·激 光 第 25卷 第 6期 2014年 6月 JournalofOptoelectronics·Laser Vo1．25No．6 June2014 一 种基于交趾型PN结的Si基微盘电一光调制器 周砚扬，周林杰 ，孙晓萌，朱海珂，谢静雅，陈建平 (上海交通大学 “区域光纤通信网与新型光通信系统”国家重点实验室，上海200240) 摘要 ：制备 了一种与 CMOS工艺相兼容 的 si基微盘 电一光调制器 ，通过使用微 盘谐振腔结构减小 器件尺寸 ，使用交趾型 PN结扩大光模式与 电场 的交叠 以增强等离子色散效应 。调制器 的测试结 果表 明 ，谐振 峰随反 向偏置 电压 增大而逐 渐红移 ，在原谐振波长处 可获得约为9dB消光 比；在 1．5V反 向偏置 电压 、输入信号为峰峰值 3V 的伪随机码下，实现 10Gbit／s调制速率 ，功耗为 44．1 pJ／hit。 关键词 ：光通信 ；Si基微盘谐振腔 ；光调制器 ；交趾 PN结 中图分类 号 ：TN491 文 献标 识码 ：A 文 章编 号 ：1005—0086(2014)06—1075—05 InterleavedPNjunctionbasedSimicrodiskmodulator ZHoUYan-yang，ZHOU Lin-jie ，SUNXiao-meng，ZHU Hai-ke，XIEJing-ya， CHENJian-ping (StateKeyLab ofAdvancedOpticalCommunication SystemsandNetworks，ShanghaiJiaoTong University， Shanghai200240，China) Abstract：A CM0Scompatiblesiliconmicrodiskmodulatorwasfabricated．ThedevicesizeiSreducedby usingthemicrodiskresonator．TheoverlapbetweenmicronskresonancemodeandelectricfieldiSin— creasedbyusinginterleavedPNjunctions，andhencetheplasmadispersioneffectisenhanced．Experi— menta1resultsrevealthattheresonancecanbered-shiftedunderareversebias，resultingintransmission extinctionratioof49dBattheoriginalresonancewavelength．Themodulationspeedcanreach10Gbit／ Smeasuredusingapseudo-random bitsequence(PRBS)signalwith3V peak-to-peakvalueunder1．5V reversebias．ThepowerconsumptioniS44．1pJ／bit． Keywords：opticalconmmnication；Simicrodiskresonator；opticalmodulator~interleavedPNjunction 制 的电学原理一般采用 Si材料 的等离子色散 效 1 引 言 应 ，主要分为载流子注入型和载流子耗尽型两种 光调制器是光互联 、光通信和光信 号处理 的 折射率调制模 式 。载流子注入 型通 常采用 PIN二 核心器件 ]。Si基材 料 由于其成本低 、性 能突 极管 ，通过加电将载流子注入 到波导 ，改变波 导