碳纳米管操控加的研究.pdfVIP

摘要 摘 要 碳纳米管具有高强度、高韧性及超强的耐磨性等力学性能，同时还具有良好 的导电性，光学性和吸附性等。碳纳米管在许多领域内得到了广泛使用，尤其是 在微纳电子领域成为构建电子器件及搭接纳米电路的组装材料。要将碳纳米管的 应用付诸于实践，对碳纳米管的可控性，可集成性等问题就变得尤为重要。因此 对碳纳米管的纳米操控研究具有一定的现实意义。 首先，本文基于直接用原子力显微镜探针对碳纳米管操控方法的基础之上， 根据其所面临的问题，比如探针磨损、无法进行可控加工、加工范围受限制等， 提出了一种新的碳纳米管操控方法，即：在原来原子力显微镜仪器的基础上进行 改造，又设计了一套金刚石刀具的进给装置，使探针和刀具各司其责，即探针执 行检测功能，刀具执行加工功能，其刀具加工微进给由压电陶瓷来完成，该加工 装置目前已经能够实现纳米级的微进给。 根据在实验中仪器不稳定受外界环境影响过大，造成无法清晰成像及正确判 断刀具接触样品等问题，我们还设计了一套弹簧阻尼减振系统。通过对减振系统 简化模型，采用自由振动衰减法求出系统阻尼系数，根据传递系数．频率比曲线分 析减振效果。宏观上，我