静电喷印头设计的关键工艺.pdf

摘要 摘要 喷墨打印设备具有制造成本低，制造过程简单、便于操作等优点，其应用范 围从传统的办公室、家庭打印延伸到电子制造、生物工程分析、陶瓷器件制备等 众多领域。但现有主流的压电式和热气泡式喷墨打印在结构和控制上都存在着难 以克服的问题。为此，本文结合传统静电喷印头的特点，设计了一种新型的静电 喷印头，克服了现有打印方式所存在的缺陷，拓宽其应用领域。 论文在对静电喷印原理的了解和分析的基础上，通过对结构单元的理论和有 限元分析，以及整体结构的动态仿真，最终得到了优化的静电喷印头结构。具体 研究工作主要包括以下五个部分： ·在查阅和分析大量相关文献资料的基础上，提出了硅(上硅层)一硅(振动 层)一玻璃三层结构的静电喷印头整体结构方案，其中进液管道布置在上硅 层，振动膜片、液腔、喷嘴设计在振动层，固定电极布置在玻璃基底上； · 通过理论分析并结合ANSYS静电与结构耦合仿真，对影响静电喷印头中振 动膜变形量大小的各个参数进行研究，在此基础上确定了长60009m，宽 380“m，厚59m，极板间距为l1．tm，工作电压为38V的振动膜片特征参数； ●针对打印中普遍存在的墨水回流现象，从考察进液管效率的角度，运用理论 和有限元仿真工具对影响扩散／收缩管效率的参数进行了系统的研究，并最终 结构； ●基于韦伯数介于l到12时，液体破裂属于振动破碎，可用于喷墨打印这一 理论基础，通过ANSYS有限元软件，对打印过程中结构变形对腔内液体的 作用进行流固耦合仿真，得到了振动膜片变形时管嘴与进液端的液体流速情 况，并计算得出韦伯数为8．5，验证了该静电喷印头结构的可行性； ◆结合静电喷印头的结构特点，设计了静电喷印头的制作工艺流程，并对静电 喷印头的关键结构一振动层的制作工艺流程及相关工艺参数进行了针对性 地研究，最终制作出了厚度为2．51．tm的硼硅振动膜。 关键词：静电喷印头；流固耦合；韦伯数 Abstract Abstract isnow usedinthe low Ink-jetprinter popularly ink-jetrecordingsystems、析th and Canbeusedfor easyoperation，which printers，facsimiles， cost，simpleproduction electronic and deviceandSOon． manufacturing，bio-engineerngbio-analysis，ceramic Themainmechanismsof ink are intwo ejectingdropscategorizedgroups：the andthethermalbubble ofthe ink-jetprinting ink-jetprinting．Both piezoelectric conventional havetheirowndrawbacks、析tllstructureand ink-jetprinters operation thatCan’tbeovercome．Sointhis novelelectrostaticheadis dissertation,a ink-jet forwardto its Canover