金属氧化物SnO2、La2O3传感材料的制备及应用的研究.pdfVIP

摘要 摘要 金属氧化物半导体传感器作为当今科技前沿热点之一，仍然面临着诸多亟待 解决的问题，提高传感器性能依然是我们所追求的研究目标。近年来，通过对传 统的传感材料进行掺杂、修饰处理和开发新型传感材料，为传感器研究提供了新 的发展动力。 基于此，本论文探索对传统的Sn02薄膜材料进行稀土元素掺杂和制备具有 介孔／大孔复合结构的Sn02薄膜材料，并详细地考察了薄膜的气敏性质，以获得 高性能的传感器。此外，合成了一种形貌新颖的Au修饰的茧型．La203纳米材料， 并发现该材料具有良好的催化发光性质。本论文的主要内容如下： 一．采用简单的和低成本的溶胶凝胶方法和薄膜蘸涂工艺制备了掺杂稀土元 素Ce的Sn02敏感薄膜，系统地研究了薄膜传感器的工作温度、掺杂量、煅烧温 度、薄膜层数以及环境湿度对传感器检测丁酮性能的影响。研究发现，当工作温 度为210℃、Ce的掺杂量为1at％、煅烧温度为500℃、薄膜层数为4层时，在干燥 00 8l。此外， 空气中该Ce．Sn02薄膜传感器对l