激光声表面波法测量薄膜杨氏模量的理论和系统的研究.pdf

中文摘要 针对现有的激光声表面波法薄膜杨氏模量测量技术，从理论算法和实验检测 技术两方面展开，以期提高此技术的测量分辨率、测量效率及测量自动化，使之 更适合薄膜尤其是超大规模集成电路中Low．k介质薄膜的杨氏模量测量。论文主 要完成了以下工作： l、基于有限时域差分法(Finite．Difference 声表面波法的理论色散曲线计算，研究了此算法中的特殊对称关系及计算域空间 特性，设计了对称边界．空间变步长算法。在此基础上建立了各向同性薄膜／衬底 结构的计算模型；并特别针对掺入周期性纳米孔的Low．k介质薄膜，建立了多孔 Low．k介质薄膜／衬底结构的计算模型。研究了薄膜的孔隙率、杨氏模量、密度、 厚度等机械特性参数对声表面波传播色散特性的影响。 2、设计并搭建了差分共焦光偏转敏感声表面波检测系统。分析了其检测原理， 研究了其技术要点。并测试了此系统的可重复性。在此基础上，与商用纳米压痕 仪展开对比测试，研究了此检测系统测量结果的可靠性。 3、设计并搭建了基于PVDF(聚偏氟乙烯)薄膜的压电声表面波检测系统， 以之作为对比测试系统。在理论研究了线源激发的平头声表面波波阵面特性的基 础上，设计了四象限压电平头声表面波探测技术，消除了压电声表面波检测系统 的方向偏离误差