等离子增强磁控射沉积新型纳米复合涂层.pdfVIP

等离子增强磁控溅射沉积新型纳米复合涂层 摘 要 纳米复合涂层在工业生产中的应用很多，如汽车零部件，刀具，模具，各 种发动机、涡轮机叶片，光学玻璃，耐高温，耐腐蚀和耐疲劳等领域。本文采 层组织结构和性能的影响，这些性能包括硬度、与基体的粘结性、表面能、耐 磨、耐高温和耐冲蚀腐蚀性能等，主要得出以下结论： (1)等离子增强磁控溅射技术沉积的涂层致密、少有柱状结构，而且表面 粗糙度低。说明在真空室里引入加热的钨丝可以起到等离子增强的效果，这种 效果对纳米涂层的致密化起着重要的作用。 (2)等离子增强磁控溅射沉积的无氧涂层中，涂层组织致密、少无柱状结 构是比较常见的。氧元素的加入使各纳米复合涂层表面变得粗糙，显示出柱状 结构和少量的气孔，这种结构对于涂层的组织结构起着不利的影响。然而，通 过粘结性能测试结果发现，氧元素的加入可以提高涂层和基体的结合力。表面 能测试结果显示：氧元素的加入使Ti基和TiAl基纳米复合涂层的表面能降低， 对于含有Cr的涂层，其表面能大小主要受形貌的影响。 HfTiAIb。s’ed)HfTibased),说明多金属复合涂层可以提高涂层的硬度。纳米压痕测 试的结果说明：Ti基涂层具有较高的韧性，对于TiAl基涂层而言，氧元素有 利于韧性的提高，而对于TiCr基涂层，氧元素使这些涂层的韧性下降很明显。 (4)从滑动摩擦磨损试验可以看出：涂层中含有Cr元素明显提高了纳米复 合涂层的摩擦系数；然而，涂层中的碳含量越高，其摩擦系数越小。从磨损量 来看，硬度越高，涂层的耐磨性能越好。冲蚀磨损试验可以看出，各涂层的耐 冲蚀磨损性能是H13钢的3～ll倍，且含有氧元素的涂层可以不同程度地提高 其耐冲蚀磨损性能。 (5)XRD和EDS的结果分析得出涂层中含有非晶态的铝的氧化物、氮化物 等结构，这些物质可以提高涂层的耐氧化性能。另外，TiAl基纳米复合涂层具 有良好的耐高温氧化性能。 (6)．通过研究各纳米复合涂层和基体的耐腐蚀性能发现，含有涂层的表面 耐腐蚀性能明显增强。比较各涂层可以发现：含有氧的涂层耐腐蚀性能比较差， 这主要和表面缺陷有关。另外，增加涂层的厚度可以显著提高其耐腐蚀性能， 纳米复合涂层具有最好的耐腐蚀性能。然而，涂层中的Cr元素并没有很好的提 高涂层的耐腐蚀性能。 关键词：等离子增强磁控溅射：纳米复合涂层；显微组织；摩擦磨损性能；耐 腐蚀性能 of New Deposition PlasmaEnhanced NanocompositeCoatingby Magnetron Sputtering Abstract havebeen studied and Nanocomposite havebeenfound coatings extensively to in manypotentialapplications automobile protectcomponentsindustry including parts，cutter，moulds，various from engine，and opticalglass hightemperature， corr