类金刚石薄膜的境摩擦学特性和电化学腐蚀性能研究.pdfVIP

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2015-11-30 发布于四川
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类金刚石薄膜的境摩擦学特性和电化学腐蚀性能研究.pdf

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类金刚石薄膜的境摩擦学特性和电化学腐蚀性能研究

目录摘要……………………………………………………………………………………I Abstract．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．III 第一章绪论……………………………………………………………………………1 1．1引言……………一………………………………………………………………………………………1 1．2类金刚石薄膜的结构及种类…………………………………………………1 1．3类金刚石薄膜的制备方法……………………………………………………4 1．3．1类金刚石薄膜的沉积机理……………………………………………．．4 1．3．2物理气相沉积…………………………………………………………一6 1．3．3化学气相沉积…………………………………………………………一9 1．3．4液相沉积………………………………………………………………10 1．4类金刚石薄膜的应用………………………………………………………．．11 1．5国内外研究现状……………………………………………………………．．13 5 1．6本课题的研究目的及研究内容……………………………………………．．1 第二章薄膜制备与实验方法…………………………………………………………19 2．1薄膜制备……………………………………………………………………．．19 2．1．1镀膜设备及工艺步骤…………………………………………………19 2．1．2基体材料………………………………………………………………20 2．2薄膜的形貌与结构表征……………………………………………………一20 2．2．1表面形貌表征…………………………………………………………20 2．2．2薄膜成分结构表征……………………………………………………20 2．3薄膜的机械性能及电化学腐蚀性能测试…………………………………一2l 2．3．1薄膜的纳米硬度测试…………………………………………………21 2．3．2薄膜摩擦学测试………………………………………………………21 2．3．3薄膜的电化学腐蚀性能测试…………………………………………23 2．4本章小结……………………………．■……………………………………一24 第三章类金刚石薄膜的结构和力学性能…………………………………………．．25 3．1类金刚石薄膜的形貌分析…………………………………………………．．25 3．1．1SEM分析……………………………………………………………………………………25 3．1．2 TEM分析……………………………………………………………………………………25 3．2类金刚石薄膜的结构分析…………………………………………………．．26 3．2．1薄膜拉曼光谱分析……………………………………………………26 3．2．2薄膜XRD分析………………………………………………………．．28 3．3类金刚石薄膜的力学性能测试………………………………………………28 3．3．1薄膜的纳米硬度和弹性模量…………………………………………．28 3．3．2薄膜的表面粗糙度……………………………………………………．29 3．4本章小结………………………………………………………………………30 第四章类金刚石薄膜的机械性能及电化学腐蚀性能研究…………………………31 4．1类金刚石薄膜的环境摩擦学特性研究………………………………………31 1 4．1．1干摩擦条件下类金刚石薄膜的摩擦学特性…………………………．3 4．1．2水