球差校正高分辨电子显微像的像衬和解卷处理.pdfVIP

第28卷 第 4期 电 子 显 微 学 报 Vol一28，No．4 2009年 8月 JournalofChineseElectronM icroscopySociety 2009一O8 文章编号 ：1000—6281(2009)04—0303—06 球差校正高分辨电子显微像的像衬和解卷处理 万 威，李方华 (北京凝聚态物理国家实验 室，中国科学院物理研究所 ，北京 100190) 摘 要 ：本工作将赝弱相位物体近似像衬理论延伸至球差校正高分辨 电子显微像 ，分析 了球差校正像 的衬度随样 品厚度 的变化规律。指 出非 Schemer聚焦条件下球差校正电镜拍摄 的高分辨像仍未必反映晶体结构，讨论 了解卷 处理方法应用于球差校正像的有效性，并以有 I2型层错的GaN晶体为例 ，借助像模拟肯定了解卷处理能用于复原 原子分辨 率晶体缺 陷的结构像 。 关键词 ：高分辨电子显微像 ；球差校正 电子显微镜 ；赝弱相位物体像衬理论 ；解卷处理 ；GaN 中图分类号 ：0766 ．1；TN304．2；077 1 文献标识码 ：A 配置球差校正器的透射 电子显微镜 (以下简称 文献[16]曾报道了解卷处理技术应用于小球差下拍 球差校正 电镜)已经批量商 品化并 获得广泛应 摄的高分辨像 ，成功地将多张不反映 si晶体完整结 用u 。用球差校正器可连续减小物镜球差系数至 构高分辨像转换为结构像 ，证明像解卷技术应用于 零值甚或负值。球差系数绝对值很小时，电镜的点 小球差电镜拍摄的像也十分有效 。 分辨本领大大提高 ，达到甚至超过 电镜 的信息极 赝弱相位物体是针对传统 电镜 (球差系数为正) 限 J。点分辨本领高于信息极限时，像 的最佳分辨 而建立 ，本文将其结果延伸至球差系数为负的情形 ， 率将取决于信息极限。 讨论了小球差 (包括正值和负值)高分辨像 的衬度随 用球差校正电镜拍摄 的高分辨电子显微像 (以 样品厚度 的变化规律 ，并将解卷处理技术应用于缺 下简称高分辨像)仍然摆脱不了衬度传递函数的调 陷晶体的高分辨电子显微像。 制。所以，仅在特定 的成像条件下，即Scherzer聚 1 球差校正电镜像的衬度 焦 时才能获得结构像 ，而在实验 中往往不易精确 设定离焦量 。偏离 Scherzer聚焦时，像衬度可能完 在弱相位物体近似下，高分辨 电子显微像 的强 全不反映晶体结构 J。此时，采用图像处理方法对 度 ，(，)表示为 ： 像进行处理 ，可使畸变的信息复原 以获得结构像。 ，(，)= 1+2盯 (r)* I1[ (日)]， (1) 常用的高分辨像处理技术有出射波重构 ’和像解 其中，d= ， 电子波长 ，U电镜加速电压 ，*卷积 卷 ]，可将原不反映结构 的高分辨像转换为结构像 ， ^U 并使像的分辨率提高至信息极限。 运算 ， 反傅里叶变换 ， (日)物镜相位衬度传递 像解卷是将单张高分辨像转换为结构像的处理 函数 (CTF)， 倒易空间频率。函数 ( )中最重要 技术 ]。尽管像解卷技术基于弱相位物体近似 的两项是要C。。日和~A39,H，其中C球差系数， (WPOA)n。。，而实际样 品却往往偏离弱相位物体 ，但 厶 △厂离焦量。在 Scherzer聚焦条件 下，对于传统 电 事实证明解卷处理对实际样 品仍然有效，在微小晶