双层螺旋rf+mems电感的模拟与设计.pdfVIP

第 30 卷 　第 5 期 电 子 器 件 Vol. 30 　No . 5 20 07 年 10 月 　　　 Ch inese J ou r nal Of Elect ro n D evices 　　 Oct . 2 007 3 De sign an d Si ulat ion of t he RF M EMS Doubl e2layer Sp ir al In duct or WU Rui ,L I AO X ia o2pi n g ( Key L abor a t or y of M EM S of Mi nis tr y o f E d u ca t ion , S outh e ast U niv er sit y , N an j in g 2 10096 , Chi n a) Abstr act :A co p act l u p ed2ele ent equivalent cir cuit o del of dou ble2layer in tegr at ed sp ir al i n ductor s w as develop ed , and a icro achi ni n g p ro ces s co pat ible w it h t he CMO S at erial s and design r ules had bee n develop ed to cr eate i n ductor s su spe nded above t he sub st r ate w it h t he dielect ric r e ov ed . Several dou ble2la yer sp ir al in duct or s had b een si u lated u si ng HF SS , a nd t he r esul t s show t hat t he dou ble2layer sp ir al i n ductor have saved 60 % chip a rea t han conven tional p lanar sp ir al in ductor , a 10n H i n ductor ca n ac2 qui r ed wit h s al l chip a rea , a nd t he icr o achi ned i n ductor s h ave bet t er quali t y f actor s gr eat er t h an 2 0 . Key wor ds :M EM S ; Doub le2layer Spi r al In ductor ; quali ty f actor ; po st2CMO S p ro ces s E EACC :723 0 ;25 75 3 双 层 螺 旋 RF M EM S 电 感 的 模 拟 与 设 计 武 　锐 ,廖小平 (东南大学 M EM S 教育部重点实验室 ,南京 2 1009 6) 摘 　要 :分析了双层螺旋电感的等效电路模型 ,研究了一种与传 统 CMO S 工艺兼容 的 M EM S 工 艺 ,通 过腐蚀 电感结构 下的 硅衬底使电感悬空. 利用 H FSS 软件对一些双层螺旋微 电感进行了模拟 ,模拟结果表明 , 相比传统单层 电感 ,双层 电感可以减 少 6