准确检测半导体器件——灵活信号源施展身手.pdfVIP

维普资讯 准确检测半导体器件 灵活信号源粮 身手 ■GaryMcFarlane 泰克公司 复杂度和工作频率提高一直是半导体技术演进的一个重要因素，这给最终用户带来了很大好处，但也 给溯试新器件的设计人员或测试工程师带来了挑战。由于复杂性和工作频率不断增长，工程师必须找 到能够全面满足被测设备需求 而又经济高效的测量解决方案。本文将专门介绍信号源在半导体溯量 应用中的使用，考察信号源溯量仪器如何帮助用户精确地测试基本半导体设备的性能特点。 卉1土 一系列详尽的布局和 冲突、幅度错误、温度变化和其他 更加灵活 ，其称为 “arb”或AWG， 建模流程后 ，新型半 极具挑战性的异常条件的测试 ， 这种全功能工具可 以重现任何想 导体器件的 “第一个硅”原型铸造 其 目标是检测到可能会发生的问 得到的波形 ，甚至模拟示波器采 完毕 ，但它是否能够实现预期的 题 ，例如一个输入缓冲器达到技 集的信号。 性能昵?内部容限的累积和不能 术指标要求，但在输入瞬态峰值 第三种信号源结构弥补了函 预见的电路单元之间的交互仍会 时会失效 ，如果预先了解这些条 数发生器和 AWG平 台之 间的空 影响设备的预计性能。因此必须 件就可以找到解决方案，防止成 白，即任 意波形 ，函数发生器 对设备进行测试 ，确定其是否满 本高 昂的返工 。 (AFG)，顾名思义 ，AFG便是具有 足基本设计规范，这称之为设计 任意波形功能的函数发生器。提 检验或检测 ，它验证设计在功能 信号源的基本描述 供了半导体检测所需的基本功能 上能够正常运行 。 信号源涵盖 了函数发生器 、 和通用性 。AFG的成本低于 G， 脉冲发生器 、RF源 、任意波形发 但性能也低于AWG，它 同时具有 半导体器件检验测试 生器等，信号源通常用于各类测 采样技术和直接数字合成技术 从简单的模拟运算放大器到 量应用中。一般来说，它提供了属 (DDS)，可以产生无数种波形、瞬 高速数字 电信交换机或CPU，几 性已知的受控信号 ，该信号对新 变和人为失真。 乎每种新型半导体设计都要求检 设计 的电路单元进行测试 ，它通 定测量 。全面 的测量体系 同时涵 常作为将要集成到设计中的器件 选择信号源 盖 了模拟参数和数字参数 ，其 中 的代用品。众所周知，对激励信号 工程师都知道信号源主要指 可 以包括模拟领域 中的最大频率 的响应则可以衡量 电路的性能。 标的重要性 ，如带宽、精度 、幅度 (Fmax)、门限电压、灵敏度、增 为检测半导体 ，信号源必须 分辨率和内存深度，但 “辅助”功能 益 、转换速率和稳定时间。数字领 能够提供各种波形 ，包括模拟波 也发挥着作用 。如 内置调制器可 域的建立时间／保持时间、畸变容 形和数字波形，因此函数发生器 以加快AM、FM、PM、FSK或PWM 限及抖动和偏移 。 便会经常成为检测实验室的必备 的测量速度 ，而集成式噪声发生 检定测试程序 中既可 以包括 仪器。这些经济 的仪器可 以选择 器则适用于许多如信噪 比、频响 称为极限测试的第三层测量 ，也 一 系列函数 (基于数学算法 的波 等测试 。此外 ，用户界面功能也是 可 以作为单独的步骤 。在极限测 形)，包括正弦波、方波、脉冲波、 一 个基本考虑 因素 ，新的AFG类 试 中，设备要接受信号畸变 、定时 三角波等 。任意波形发生器则要 型提供 了大型彩色显示器 ，汇总