氮化硅球表面类刚石膜高温摩擦学性能的研究.pdfVIP

氮化硅球表面类金刚石膜高温摩擦学性能的研究 学科：机械制造及其自动化 生签 ： 研兜 字 签 刘，： 辫 借导教师 字 玲 ，卜●0 哆下妒 卜彳p 斫 摘要 随着氮化硅陶瓷球轴承的广泛应用，对滚动体表面润滑性能的改性变得日益强烈。类 金刚石膜(Diamond．1ikecarbonfilms，简称DLC膜)作为一种综合性能优异的薄膜，在航 空航天领域作为固体润滑剂得到了广泛的应用。通过在氮化硅球表面镀一层DLC膜，可有 效改善氮化硅陶瓷轴承的摩擦学性能。滚动轴承在运行过程中，轴承的工作温度会高于常 温，而DLC膜的结构、润滑性能等都与温度密切相关，因此有必要研究DLC膜在高温工况 下的热稳定性及摩擦学性能。 本文首先采用非平衡磁控溅射法分别在氮化硅陶瓷球及高速工具钢表面制备了DLC 膜，并运用各种仪器和方法对其进行了表征。表征结果显示，所制备的DLC膜表面虽存 在小坑，但整体光滑，且具有DLC膜的典型Raman光谱特征和较高硬度。接着，针对轴 承在实际工作中所遇到的不同摩擦配副、速度、载荷等问题，运用实验法分别对其进行了 研究，研究结果表明；DLC膜能够有效改善Si3N4的脆性大的弱点，并起到减磨作用：随 着载荷的增加，Si3N4球表面DLC膜的摩擦系数增大，磨损加重：滑动速度对摩擦副摩擦 系数的影响比载荷更加显著，随着速度的增加，摩擦副的平均摩擦系数及磨损都是先增后 降；Si3N4球表面DLC膜组成的摩擦副在高速工况下能保持低摩擦和高稳定性。 然后，针对轴承工作时温度较高且润滑条件为油润滑的情况，考察了DLC膜在高温 干摩擦及高温油润滑条件下的摩擦学性能，研究结果表明：在干摩擦和油润滑条件下， 擦及磨损。 最后，考虑到DLC膜中存在较大的内应力，采用不同温度对DLC膜进行退火处理， 万方数据 探讨了退火温度对DLC膜热稳定性及摩擦学性能影响，研究表明：退火温度越高，DLC 膜拉曼光谱曲线中D峰与G峰的积分强度比值A以G越大，DLC膜的石墨化程度越强； 的低摩擦性能主要与DLC膜石墨化及硬度的提高有关，而在高温下的低摩擦性能则主要 与具有超低剪切强度的氧化石墨的生成有关。 本文开展的DLC膜在不同工况下摩擦学性能及退火后稳定性及摩擦学性能的研究， 为DLC膜在轴承滚动体表面的应用提供理论基础，对DLC膜在高温工况条件下的应用具 有重要意义。 关键词：氮化硅球：类金刚石膜：退火温度；高温；摩擦学性能；Raman光谱 万方数据 onthe ofDiamond-likeCarbonFilms Study TribologicalProperties on Ballunder Si3N4 High Temperature andAutomation Discipline：MechanicalManufacturing |- ， Student Signature： 凯∈fM SupervisorSignature： 鼍习跏t’约 Abstract Withthe ofsiliconnitrideceramicball modificationof widelyapplication bearing，the lubricationin surfaceis rolling becomingincreasinglyurgent．Diamond—likecarbon(DLC) filmswithexcellent