nbcn、nbin复合膜和nbsinvn多层膜的微结构和性能研究.pdfVIP

摘要 摘 要 本论文采用反应磁控溅射制备了NbCN 复合膜、NbSiN 复合膜以及NbSiNN/VN 纳米多层膜。采用EDS 、X 射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪表征了薄膜的 成分、微结构、硬度以及室温和高温摩擦磨损性能。研究了C 靶功率对NbCN 复合膜 的微结构、力学性能以及摩擦磨损性能的影响；Si 含量对NbSiN 复合膜的微结构、力 学性能和室温及高温摩擦磨损性能的影响；并研究了不同VN 膜层厚度对NbSiN/VN 多层膜结构、力学性能和室温及高温摩擦磨损性能的影响，讨论了多层膜的致硬机理 和磨损机制。 研究表明： NbCN 复合膜为面心立方结构，呈NbN(200)择优取向；C 的加入，使薄膜的力学 性能得到改善，随着C 靶功率的增加，复合膜的硬度先增大后减小，在C 靶功率增加 到90 W 时，NbCN 复合膜的硬度达到最大值，为30.3 GPa；室温摩擦磨损实验结果 表明，随着C 靶功率的增加，NbCN 复合膜的摩擦系数逐渐降低，当C 靶功率增加到 120W 时，摩擦系数降至最低为0.323 。 NbSiN 复合膜为面心立方结构，呈NbN(200)择优取向；少量Si 的加入使得复合 膜得到强化，在Si 含量为20.29 at.%时硬度达到最大值32.1GPa，随着Si 含量的进一 步增加，复合膜的硬度逐步降低。室温和高温摩擦磨损研究表明，在室温时，随着Si 含量的增加，NbSiN 复合膜的平均摩擦系数在0.60~0.68 之间波动；在650℃时，随着 Si 含量的增加，复合膜的平均摩擦系数呈减小趋势；650℃时的平均摩擦系数低于室 温下的平均摩擦系数与氧化物的生成有关。 在NbSiN/VN 多层膜中，随着VN 膜层厚度增加，多层膜由V N(110)择优取向转 2 变为VN(111)择优取向。在VN 膜层厚度为5 nm 时，硬度达到最大值，为26.1 GPa 。 摩擦磨损性能的研究表面，在室温和高温时，随着VN 膜层厚度的增加，多层膜的摩 擦系数均呈减小趋势。室温时，在VN 膜层厚度增加到5 nm 时平均摩擦系数最低为 0.386 ；高温650℃时，VN 膜层厚度为10 nm，多层膜平均摩擦系数最低为0.289；高 温时平均摩擦系数降低与自润滑性V O 的生成有关。 2 5 关键词：复合膜；多层膜；微结构；力学性能；摩擦磨损 I Abstract Abstract NbCN composite films, NbSiN composite films and NbSiN/VN multilayer films were prepared by reactive magnetron sputtering technique. The composition, microstructure, mechanical and tribological properties of thse films were investigated by energy dispersive spectroscopy (EDS), X-ray diffraction (XRD), nano-indentation, and high-temperature tribo-meter. The effect of C target sputtering power on the microstructure and mechanical properties of NbCN composite films were studied. The effect of Si content on