标准漏孔校准装的研究与应用.pdfVIP

摘 要 本文主要给出了利用小孔和四极质谱计建立真空标准漏孔校准装置的原理和 方法。 文中研究了小孔流导的基本特性，并给出了小孔流导的计算公式；提出了利 用恒压法对小孔流导进行测试，对选定的小孔的流导进行了测试，给出Yd,-}L流 导随压力变化的曲线方程。 利用小孔设计的气体流量计，其流量可以任意调节，校准时流量计提供的流 量大小仅与稳压室的压力有关，并且可以将流量计的流量调节到与被校漏孔漏率 大小相等，再用四极质谱计将二者进行比较，计算出漏孔的漏率，这样四极质谱 计只起比较器的作用，解决了四极质谱计的线性以及长期稳定性差影响校准结果 的问题。 由于稳压室中的气体压力高，不需要特别严格的材料处理工艺，不需要彻底 的烘烤出气就能得到纯净的单一气体，满足校准工作的要求；测量范围达到了 (10-～I旷)Pa·mVs，评定的合成标准不确定度为2．2％。通过对不确定度分量的 分析可知，通过精确校准电容薄膜规、控制温度变化等方法可以进一步降低校准 不确定度。 研究还表明四极质谱计的非线性度达到了38％，影响了其测量能力。 关键词：小孔流导标准装置不确定度分析标准漏孔 Abstract In for standardleakcalibrationdeviceis this method paper,a settingI巾the introducedsmallorificeand maSS byusing spectrometer． quadrupole Inthis characteristicoftheorificeconductancehasbeen basic study曲a paper,the andtheformulaof conductancewith is calculation orifice given．The variatypressure in orifice methodofsmallorificeconductanceisintroducedthis small paper．The is its isevaluated． conductancemeaswedconstant method,anduncertainty by pressure small thesmallorifice After orificeconductanceis flow determined,thethrough contactwith theballastchamber．Toeliminatethemeasurementeitor of only pressure caused of mass andits ofthe non-linearity spectrometerpoo