有机绝缘层材料(4-乙烯基苯酚)(pvp)喷墨打印工艺研究及薄膜表征.pdfVIP

中文摘要 中文摘要 摘要：近年来，有机薄膜晶体管在柔性大面积显示以及电子标签领域受到广泛的 关注。喷墨打印技术是一种可直接图案化沉积薄膜的工艺，能在柔性以及大面积 衬底上实现高效图案化加工。本课题的目标是将二者结合起来，研制高性能全打 印有机薄膜晶体管。鉴于有源层的保密要求，在此只论述绝缘层喷墨打印的研究。 本文的主要工作是用压电喷墨打印的方式制备聚(4．乙烯基苯酚)(PVP)绝缘 层，并分析影响薄膜电学性能的因素，主要内容包括： (1)首先我们用丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)作为溶剂，配置了不同浓度 的聚(4．乙烯基苯酚)(PVP)墨水，并对其印刷适性进行分析，结果表明，浓度在 4wt％,-,10wt％范围内的PVP溶液对DMP．3000打印机有良好的印刷适性。 (2)研究了PVP薄膜成膜形貌与墨水浓度、打印点间距以及打印次数的关系， 结果表明采用双层打印的方式能有效减轻咖啡环现象，提高薄膜表面均匀性。喷 墨打印技术作为薄膜沉积工艺，可以得到厚度在200～1000nm范围内的均匀绝缘 膜。 (3)采用M．I．M结构，研究了不同浓度PVP墨水以及不同打印次数对绝缘层 电容特性的影响，测量数据表明：随着墨水浓度的增加，电容减小；打印次数增 加，绝缘层电容亦减小：并且打印薄膜的电容位于nF／cm2数量级，根据文献报道， 已基本可以满足实用要求。 (4)研究了不同浓度PVP墨水以及不同打印次数对绝缘层漏电流特性的影响， 漏电流测试表明：在0—0V的外加电压下，PVP绝缘层的漏电流密度在 介电层提供了必要的参考。 综上所述，喷墨打印技术可以制备性能良好的有机绝缘薄膜，是一项适用于 有机电子制造领域的薄膜沉积技术。 关键词：聚(4．乙烯基苯酚)；喷墨打印；有机薄膜晶体管；绝缘层 分类号：TN321+．5；TS853+．5 ABSTRACT thin transistorreceives attention ABSTRACT：Inrecent film widespread years，organic area andelectronic i11thefieldofflexible tags．Ink-jetprintingtechnology large display to aneffectivemethodto a thin tulnsout be can film，it directlydepositpatterned ofthis istocombine flexibleand areasubstrates．The on large target project pattem thinfilmtransistor．In above a organic two，and high．performanceall·printed develop ofactive articledeals with viewofthe layer,this only confidentialityrequirements et insulatingla