mems-dm设计与工艺技术研究.pdfVIP

摘 要 本论文设计的项目主要从校正光线穿过大气、光学设备时产生的波前畸变出发，分 析自适应光学校正方法，提出自适应光学波前校正系统中的核心执行器件DMs 的设计结 构和制造方法。 随着小型化趋势的发展，和空间光学器件对体积、质量的要求，质量轻，体积小的 DMs 是本项目设计的创新点，也是本项目的难点所在。本文采用基于MEMS 技术的工艺流 程, 提出一种新型大有效面积的连续变形反射镜的结构。通过体硅工艺进行制造以获得 更为平整的反射镜面和更多的自由度，通过创新的在镜面后面附加小型台柱来减小驱动 电极与镜面之间的距离，这种设计使变形反射镜的驱动工作电压大大减少。设计阶段， 深入研究了有限元力学－电学耦合方法，列出分析方程。通过Ansys 软件多次进行了有 限元耦合分析，确定了最佳的变形反射镜，包括其各个部分，的尺寸。 在制造流程设计和北大微电子所的实际制造过程中，分析 MEMS 制造过程中可能遇 到的大面积腔体深腐蚀中凸角腐蚀，硅－玻璃键合过程中容易出现的小空隙粘合，镜面 崩塌等关键问题，从最基本的原理进行了阐述和分析，实施了T 形条凸角补偿，延长驱 动线以获得电荷平衡，贯通浅槽以保持腔体气压平衡和静电键合中的面阴极来保护镜面 等解决方案；同时在掩模中加入了监控、对准等标记，这样能很好的控制了腐蚀，掩模 对准的精度，对提高整个制造过程的效率起到了关键性的作用。在最后部分给出了设计 的整个 MEMS 工艺流程单，并对流程中每一步进行的详细解释，提供了数据以供阅读者 2 参考。最后成功制造出有效反射面积30×30 mm ，最大变形量 1.2μm，49 驱动电极的变 形反射镜。10-200V电压范围内得到的镜面变形数据与模拟结果具有很好的一致性。 关键词：变形反射镜 体硅工艺 凸角补偿 静电驱动 I Abstract When lights go through the atmosphere or some optical devices, the wave front of the light might be distorted by the uneven atmosphere and the defects of the optical devices. The purpose of this thesis derives from the demand of correction to the distortion, especially to those space applications. This thesis describes the key device, that is DMs (deformable mirrors), of the adaptive optics technique which was widely used in the application for outer space. At first, we analyze the electrostatic force formula and use it to calculate the transform of our deformable mirrors model, then the finite element method which is developed rapidly in recent years to solve the problems of abnormity shape is adopted to emulate the structure of deformable mirror to get the size of every parts of the mirror in detail. The process of the emulation and those sizes of the DMs will be described in chapter 3. From the most important chapter 4, the design and fabrication of a novel deformable mirror bas