nems测试中干关键技术的研究.pdfVIP

中文摘要 纳米梁谐振器是一种重要的NEMS器件，在射频和传感等领域具有广阔的 应用前景。纳米梁谐振器的机械力学特性测试技术和动态特性测试技术是NEMS 测试技术中共性的关键测试技术，因此本文以纳米梁谐振器为测试对象，开展了 纳米梁谐振器机械力学特性测试以及动态特性测试两方面的研究工作，并通过测 试实验，对纳米梁谐振器的加工工艺和工作特性进行了评价和表征。 论文完成的主要工作包括以下几个方面： 1、基于纳米压痕测试技术，利用AFM的纳米压痕模块，对厚度为110nm 的制造纳米梁谐振器的氮化硅薄膜材料硬度进行了测试。纳米压痕测试中通常采 用复杂的面积函数计算残余压痕投影面积，本文开发了一种计算残余压痕投影面 积的方法并编写了相应的数据处理软件，有效避免了由于小压深条件下面积函数 的置信概率较小，致使残余压痕投影面积计算值不可靠的问题。 2、基于弯曲测试技术，利用AFM对氮化硅和硅双端固支纳米梁的机械力 学特性进行了测试。对双端固支纳米梁的杨氏模量值进行了测量，测试数据具有 较好的一致性，验证了实验方法的可行性。在硅纳米梁的杨氏模量测试实验中， 本文针对硅纳米梁与基底间纳米量级间隙的特点，提出了～种测量纳米梁厚度的 实验方法，并给出了具体操作和数据处理流程。最后，利用ANSYS有限元分析 软件分析了加载点位置对测试结果的影响。在弯曲测试实验中，通过标定测试用 AFM微悬臂梁的有效长度，从而修正了其弹簧常数。 3、基于显微激光多普勒测试技术，利用多普勒测振仪对纳米梁谐振器的振 动特性进行了测试，对纳米梁谐振器件的器件性能进行了评价和表征。本文分析 了静电激励双端固支纳米梁谐振器的电学和机械等效模型，并分析了静电激励和 静电力之问的关系。通过对多普勒测振结果的分析可知，谐振梁的振动特性测试 曲线与理论分析具有很好的一致性。 4、在基于AFM测试纳米梁谐振器离面振动的研究中，本文分析了AFM轻 敲模式针尖一振动表面相互作用的理论模型，这一模型较AFM接触模式针尖一振 动表面相互作用的理论模型更为复杂。最后通过实验明确了AFM测振技术对被 测样品的要求，并对基于AFM和基于显微激光多普勒的纳米梁谐振器离面振动 特性的两种测量技术进行了分析和比较。 关键词：原子力显微镜，纳机电系统，纳米梁谐振器，纳米压痕测试，弯 曲测试，显微激光多普勒测振 ABSRTACT with Nanobeamsare NEMSdevices application significant verygood prospects RFand motion in areas．Mechanicalcharacterizationand characteristic sensing testing ofnanobcamresonatorsareconnnon inNEMS key testingtechniques testing．Taking nanobeam as characterizationandmotion resonators testingobjects，mechanical characteristicofnanobeamresonatorsare the testing proceeded．Through technicand ofnanobeam results，th