移相式斐索中波外干涉仪关键技术及应用研究.pdfVIP

硕士论文 移相式斐索中波红外干涉仪关键技术及应用研究 摘 要 l删燃 红外干涉仪在球面及非球面元件的高精度检测中有着不可或缺的作用，而 中波红外干涉仪因其波段的特殊性，更是在军事、航天、能源等领域的光学应 用中有着独特地位。本文应国内行业需要，重点研究中波红外干涉仪研制中的 关键技术。 总结了红外干涉仪尤其是中红外干涉仪的国内外发展现状，通过对红外干 涉仪的原理分析。在现有斐索型干涉仪的基础上提出了口径100n1In的移相式斐 索中波红外干涉仪的设计方案，主要包括了光路的设计(双三角式转折光路) 及移相算法的分析和改进。 研究了移相式斐索中波红外干涉仪的装调、大伸长量移相器的机构标定测 试及中红外激光干涉系统杂散光等系列问题。建立了波长为4．4l眦，口径为 矽100111In的移相式中红外干涉测量系统。 同时开展了应用测试研究，测试了口径为≯20mm的非球面元件的面形误 差、口径为≯30mm的硫系玻璃的折射率均匀性，给出了测试结果的三维波面 图。应用近似理想的标准平面与球面对该中波红外干涉测量系统进行了不确定 度分析，系统测量的不确定度达见／169(旯=4．41∥聊)。 关键词：光学测量，中波红外，斐索干涉仪，移相干涉术 Abs仃act 硕士论文 Abstract in testof surf．aceanda 111盘arediIIterfbrom酏eris tlle sphencal iIldiSpensible s删沁e诵t11 becauseofme sph嘶cal M曲precision．And nlefieldsof medinterf．erometerhaSmore in opticaLlapplication iInpommtposition in t11e oft11edomeSticindus仃y， requirement optical milita巧，aeroSpace，energy．At i11 ofmid-iIlf．rared tbjsdissenationfocuSont11e t11e keytecllIliquedeVelopment i11telll；erometer． interf．erometeriss唧皿arized． The situationofmein盘ared development present mein丘aredinterf．erom ofFiZeau ARer tlle of etIer，t11e a11a1)，zillgprinciple design mid-幽edinterf-erometer谢t11an of1OOmmis on phaSe—s11iRillg aperture propo