大口径光学元件反射率测量系统的研究.pdfVIP

浙江大学硕士论文 摘要 在大口径光学元件高质量薄膜的制造过程中，对于透射率和反射率的均匀性 测试是非常困难的。本论文介绍了一套专门设计的具有多功能、高精度、大口径、 宽角度特点的大口径光学元件光谱性能以及均匀性测量装置。它能够实现口径 350X600mm,厚度70mm的光学元件在。到70度入射角下，近紫外、可见光 以及近红外连续光谱范围(340-I060nm)内，P-偏振光和s-偏振光透射率和反射率 的自动测量。 本论文首先从理论上研究了大口径光学元件透射率和反射率的测量方法。以 该方法为基础，具体分析了相关检测技术对于大口径微弱信号检测方法的适用 性。 其次，论文深入研究了对大口径样品进行二维平面和角度均匀性检测的自动 扫描技术，发展了利用积分球旋转消除厚样品轴向位移的单光路测量为法。 再次，论文详细介绍了总体结构、光学系统、机械系统、)At电转换和控制系 统、软件和数据处理系统的设计、制造和调试。光学系统部分论述了光路的设计 原则，详细阐述了光学系统各部分的设计要求和性能;机械系统部分给出了角度 扫描和二维平动扫描的实现方法，讨论了样品台的设计方法;光电转换与控制