大扫描范围原子显微镜的新方法研究及系统研制.pdfVIP

浙江大学硕士论文 689288 摘 要 在20世纪末，各种电子元器件、机械机构等都有向小型化、微型化发展的趋势。 许多纳米级的器件己经被应用在科学研究与工业生产中，纳米科技越来越受到人们的 关注。 扫描探针显微镜((SPM)是研究纳米科技的重要工具。在SPM家族中，以原子力显 微镜(AFM)的应用最为广泛，它可以在大气、液体等多种环境下对导体、半导体、绝 缘体等多种材料进行观测，适应性很强。 AFM 的主要性能指标包括其最大扫描范围和测试分辨率等。扫描范围一般在几微 米至几十微米量级，有时无法满足某些特定场合的需求，例如对有些材料表面进行研 究时，研究人员希望能够同时观察几百微米范围内样品表面的形貌、缺陷等性质;非 接触模式AFM用于生物医学研究观察蛋白质一类生物大分子或是多分子聚合体时，人 们希望其扫描范围更大一些。单个蛋白质分子的大小差别很大，较大的可能有几百万 A，而较小的也会有上万A，此时几微米，甚至几十微米的扫描范围是远远不够的。对 于只有一个或几个蛋白质分子的样品图像来说，人们很难从中分析出很多数据。人们 总是希